[發明專利]硅棒加熱器有效
| 申請號: | 201210086367.0 | 申請日: | 2012-03-29 |
| 公開(公告)號: | CN102581973A | 公開(公告)日: | 2012-07-18 |
| 發明(設計)人: | 劉愛軍;胥大鵬;陳新軍;何江濤;李曉建;陸建虎 | 申請(專利權)人: | 無錫隆基硅材料有限公司;西安隆基硅材料股份有限公司;寧夏隆基硅材料有限公司;銀川隆基硅材料有限公司 |
| 主分類號: | B28D7/00 | 分類號: | B28D7/00;B28D5/00 |
| 代理公司: | 南京經緯專利商標代理有限公司 32200 | 代理人: | 樓高潮 |
| 地址: | 214000 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 加熱器 | ||
技術領域
本發明涉及一種硅棒切割加工過程中加熱硅棒,加快膠水的硬化時間的硅棒加熱器。
背景技術
硅棒、玻璃基板和晶托冶具粘結好后需要對膠水進行加熱,加快膠水的硬化時間,去除膠的應力層。常規的加熱方法是將粘結好的硅棒、玻璃基板和晶托冶具搬運至加熱箱內,這樣容易造成硅棒表面的損傷。如果將粘結平臺整體進行加熱,加熱器的尺寸和功率需要很大,成本較高。
發明內容
本發明目的在于針對現有技術的缺陷提供一種節省空間,成本較低的硅棒加熱器。
本發明為實現上述目的,采用如下技術方案:
硅棒加熱器,包括加熱箱,其特征在于:所述加熱箱加熱部件位于箱體周邊,底部懸空,底部兩側設置有軌道,所述軌道內設置有可以自由推動的粘棒推車,所述粘棒推車用于放置粘結好的硅棒、玻璃基板和晶托冶具;所述粘棒推車和所述加熱箱配合形成一個密閉的腔體。
本發明結構簡單,與粘棒推車相配合,體積小,成本較低。
附圖說明
圖?1?為本發明示意圖。
具體實施方式
如圖1所示一種硅棒加熱器,包括加熱箱1,所述加熱箱1加熱部件位于箱體周邊,底部懸空,底部兩側設置有軌道3,所述軌道3內設置有可以自由推動的粘棒推車2,所述粘棒推車2用于放置粘結好的硅棒、玻璃基板和晶托冶具;所述粘棒推車2和所述加熱箱1配合形成一個密閉的腔體。
使用時將放置粘結好的硅棒、玻璃基板和晶托冶具的粘棒推車推入加熱箱的軌道,粘棒小車和加熱箱相配合形成一個較小的僅可容納結好的硅棒、玻璃基板和晶托冶具的密閉加熱空間,對粘結好的各個部件進行加熱。加熱完畢后推出,這樣減少了硅棒的搬運過程。方便更換推車。
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