[發明專利]太陽能電池管式爐擴散工藝

無效

• 申請號: 201210079101.3
• 申請日: 2012-03-22
• 公開（公告）號: CN102610696A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發明（設計）人: 陳瓊
• 申請（專利權）人: 常州億晶光電科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種太陽能電池管式爐擴散工藝，所述的太陽能電池管式爐包括石英爐管(2)、石英爐門(1)、碳化硅槳(5)以及驅動碳化硅槳(5)移動的驅動裝置，碳化硅槳(5)上放置石英舟，石英舟內裝載待擴散處理的硅片，其特征在于具有如下步驟：

①、開始進舟：驅動裝置啟動，舟速以300-500毫米/分鐘帶動硅片進入石英爐管(2)中，在石英爐門(1)離石英爐管(2)管口0-10厘米的地方停止并開始加熱石英爐管(2)；

②、停止進舟：驅動裝置停止，停止1-30分鐘使偏磷酸升溫從而降低粘度；

③、慢速進舟：驅動裝置啟動，舟速50-300毫米/分鐘繼續前進直到石英爐門(1)完全關閉；

④、石英爐管(2)內加熱升溫至擴散工藝溫度；

⑤、向石英爐管(2)內通入工藝氣體開始擴散；

⑥、達到擴散工藝時間后，停止通入工藝氣體；

⑦、反向出舟：驅動裝置啟動，舟速300-500毫米/分鐘取出硅片，完成擴散。