[發(fā)明專利]加熱器單元和熱處理裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210071021.3
• 申請(qǐng)日: 2012-03-16
• 公開（公告）號(hào): CN103313446A
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 藤田翁堂
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 光洋熱系統(tǒng)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H05B3/62
• 分類號(hào): H05B3/62;F26B3/30;F26B15/12
• 代理公司: 北京信慧永光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11290
• 代理人: 周善來;李雪春

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及加熱器單元和熱處理裝置，特別涉及適合利用了輻射熱的、通過較低溫度區(qū)域(例如300℃以下)進(jìn)行的熱處理的加熱器單元和熱處理裝置。

背景技術(shù)

為了通過熱量使液體成分從附著有水、有機(jī)溶劑等的液滴或者由這些液體潤濕的被處理件氣化從而使被處理件干燥，使用具有熱源的干燥裝置。

在專利文獻(xiàn)1中，作為使硅片上的水滴干燥的干燥裝置，提出有一種裝置，作為熱源使用紅外線燈，在晶片設(shè)置臺(tái)和遠(yuǎn)紅外線燈之間設(shè)置有材質(zhì)(Si)與硅片相同的濾光器(filter)。濾光器具有下述功能：使能高效地使水滴干燥的波長的紅外線透射，但是去除對(duì)硅片進(jìn)行加熱的波長的紅外線。因此，可以僅加熱液滴而不對(duì)硅片進(jìn)行加熱，從而可以使液滴快速地干燥。

專利文獻(xiàn)1：日本專利公開公報(bào)特開平8-122232號(hào)

在記載于所述專利文獻(xiàn)1中的干燥裝置中，由于濾光器吸收紅外線，所以濾光器本身具有熱量，并對(duì)濾光器周圍的空氣進(jìn)行加熱。因此，在干燥時(shí)從被處理件產(chǎn)生可燃性的氣體(N-甲基吡咯烷酮(在下面稱為NMP)氣體等)的情況下，存在氣氛溫度上升到燃點(diǎn)溫度從而導(dǎo)致起火的問題。例如，在鋰離子電池用電極中，由于作為制作涂敷于金屬箔表面上的集電極的漿液時(shí)的溶劑有時(shí)采用NMP，所以存在起火的危險(xiǎn)。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于所述的問題，本發(fā)明的目的在于可以在抑制氣氛溫度上升的同時(shí)高效地對(duì)被處理件進(jìn)行熱處理。

本發(fā)明提供一種加熱器單元，其包括：熱源，放射紅外線；濾光器，與所述熱源鄰接設(shè)置，切斷規(guī)定波長以上的紅外線；以及透光部件，與所述濾光器相對(duì)，從所述濾光器分離開，設(shè)置在與所述熱源相反的一側(cè)，使透射過所述濾光器的紅外線透射。

按照所述的構(gòu)成，從熱源放射出的紅外線通過濾光器時(shí)，規(guī)定波長以上的光線被切斷。另外，僅使透射過濾光器的紅外線透射過透光部件。因此，如果將透光部件與被處理件相對(duì)設(shè)置，則可以通過透射過透光部件的紅外線對(duì)被處理件進(jìn)行輻射加熱，從而可以對(duì)被處理件進(jìn)行熱處理(例如干燥)。此時(shí)，由于透光部件幾乎沒有吸收紅外線，所以透光部件不會(huì)過熱。因此，可以在抑制氣氛溫度的上升的同時(shí)高效地對(duì)被處理件進(jìn)行加熱處理。

另外，為了使從濾光器表面釋放的熱量不傳遞給透光部件，優(yōu)選的是，所述濾光器和所述透光部件之間的空間被真空絕熱。

作為所述濾光器和所述透光部件的材料，可以適合使用容易獲得的石英玻璃。

此外，本發(fā)明還提供一種熱處理裝置，其包括：熱處理爐，收容被處理件；熱源，放射紅外線；濾光器，與所述熱源鄰接設(shè)置，切斷規(guī)定波長以上的紅外線；以及透光部件，與所述濾光器相對(duì)，從所述濾光器分離開，設(shè)置在與所述熱源相反的一側(cè)，使透射過所述濾光器的紅外線透射，并把所述濾光器和所述熱處理爐內(nèi)的氣氛分開。

按照所述的構(gòu)成，從熱源放射出的紅外線在通過濾光器時(shí)，規(guī)定波長以上的光線被切斷。另外，僅使透射過濾光器的紅外線透射過透光部件。因此，如果將透光部件與被處理件相對(duì)設(shè)置，則通過透射過透光部件的紅外線對(duì)被處理件進(jìn)行輻射加熱，從而可以對(duì)被處理件進(jìn)行熱處理(例如干燥)。此時(shí)，由于透光部件幾乎沒有吸收紅外線，所以透光部件不會(huì)過熱。因此，可以在抑制氣氛溫度的上升的同時(shí)對(duì)被處理件進(jìn)行加熱處理。

此外，本發(fā)明的熱處理裝置還包括傳熱阻止機(jī)構(gòu)，該傳熱阻止機(jī)構(gòu)阻止從所述濾光器表面釋放的熱量傳遞給所述透光部件。按照該構(gòu)成，可以不傳遞從濾光器表面釋放的熱量，有助于抑制氣氛溫度的上升。具體來說，通過將所述濾光器和所述透光部件之間的空間真空絕熱，或設(shè)置對(duì)所述濾光器的表面進(jìn)行冷卻的冷卻機(jī)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)阻止從所述濾光器表面釋放的熱量傳遞給所述透光部件。

另外，如果包括移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)將所述被處理件移向所述熱處理爐內(nèi)的、與所述透光部件的紅外線射出一側(cè)相對(duì)的區(qū)域，則可以連續(xù)地對(duì)被處理件進(jìn)行熱處理，從而可以提高作業(yè)效率。

按照本發(fā)明，可以在抑制氣氛溫度上升的同時(shí)高效地對(duì)被處理件進(jìn)行熱處理。因此，即使在熱處理時(shí)從被處理件產(chǎn)生可燃性的氣體(NMP等)，氣氛溫度也不會(huì)上升到燃點(diǎn)溫度，沒有爆炸的危險(xiǎn)性。

附圖說明

圖1是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的熱處理裝置的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)圖。

圖2是本發(fā)明的其他實(shí)施方式的熱處理裝置的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)圖。

圖3是表示熱源、濾光器和透光部件形成一體的加熱器單元的一個(gè)例子的熱處理裝置的主要部分的剖視圖。

附圖標(biāo)記說明

1…熱處理爐

2…紅外線加熱器

3…濾光器