[發(fā)明專利]擴(kuò)散爐控制裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210069547.8
• 申請(qǐng)日: 2012-03-16
• 公開（公告）號(hào): CN103305922A
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐永兵;陸杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無(wú)錫尚德太陽(yáng)能電力有限公司
• 主分類號(hào): C30B31/18
• 分類號(hào): C30B31/18
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 高為;王忠忠

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝，特別涉及用于太陽(yáng)能器件制造中的擴(kuò)散和氧化工藝的擴(kuò)散爐的控制。

背景技術(shù)

擴(kuò)散爐可用于硅片等太陽(yáng)能器件制造中的擴(kuò)散、氧化工藝，也可用于半導(dǎo)體器件制造中的擴(kuò)散、氧化、退火及合金工藝，同時(shí)還適用于對(duì)其他材料的特殊溫度處理。擴(kuò)散爐整機(jī)由計(jì)算機(jī)控制，包括控制部分、推舟凈化部分、電阻加熱爐部分、氣源部分，各部分軟、硬件聯(lián)鎖。在操作部分通常采用觸摸屏作為輸入輸出設(shè)備。擴(kuò)散爐工作過(guò)程中的工藝參數(shù)的設(shè)置及運(yùn)行均在觸摸屏上直接進(jìn)行。整個(gè)系統(tǒng)通常采用的是“1對(duì)1”的監(jiān)控模式，即一臺(tái)觸摸顯示屏控制一根擴(kuò)散管，該管溫控信息、推舟狀態(tài)、氣源控制均在觸摸屏上顯示，日常操作通過(guò)操作人員觸摸點(diǎn)擊觸摸屏來(lái)完成。

但是在實(shí)際的生產(chǎn)使用過(guò)程中，現(xiàn)有的監(jiān)控模式并不方便，使得員工在操作時(shí)常常遇到“高的高、低的低”的尷尬局面，即，出于提高設(shè)備空間利用率的考慮，多臺(tái)觸摸設(shè)備必須層疊放置，因而導(dǎo)致有些設(shè)備被放置到較高的位置，而有些設(shè)備直接被放置在地面上，或者僅僅比地面稍高的位置。這就使得操作極不方便，進(jìn)而導(dǎo)致誤操作的出現(xiàn)，容易給生產(chǎn)造成損失。

而且，目前應(yīng)用在擴(kuò)散爐控制中的觸摸屏產(chǎn)品在質(zhì)量和性能之間尚不能達(dá)到理想的平衡，配件故障率較高。主要表現(xiàn)為屏幕經(jīng)過(guò)一定次數(shù)的點(diǎn)擊和沖擊后觸摸屏就常常會(huì)損壞，無(wú)法觸摸輸入或者無(wú)法顯示，給生產(chǎn)帶來(lái)極大的隱患。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的一個(gè)方面公開了一種擴(kuò)散爐控制裝置，包括：監(jiān)視和控制所述擴(kuò)散爐中多根擴(kuò)散管的多個(gè)工控主機(jī)，每一工控主機(jī)與一根擴(kuò)散管相連，與所述多個(gè)工控主機(jī)相連的交換機(jī)，以及與交換機(jī)相連的輸入設(shè)備和顯示設(shè)備，其中，將各個(gè)工控主機(jī)采集到的數(shù)據(jù)和信息通過(guò)所述交換機(jī)轉(zhuǎn)至所述顯示設(shè)備上，所述輸入設(shè)備輸入的控制指令通過(guò)所述交換機(jī)轉(zhuǎn)至預(yù)定的工控主機(jī)。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面的擴(kuò)散爐控制裝置，其中所述輸入設(shè)備和顯示設(shè)備是觸摸屏。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面的擴(kuò)散爐控制裝置，其中所述輸入設(shè)備是鍵盤和鼠標(biāo)。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面的擴(kuò)散爐控制裝置，其中輸入設(shè)備在接收到特定的輸入指令后切換監(jiān)視和控制的目標(biāo)。

本發(fā)明的一個(gè)方面公開了一種擴(kuò)散爐系統(tǒng)，包括：擴(kuò)散爐中的多根擴(kuò)散管，以及擴(kuò)散爐控制裝置，其包括：監(jiān)視和控制所述擴(kuò)散爐中的多根擴(kuò)散管的多個(gè)工控主機(jī)，每一工控主機(jī)與一根擴(kuò)散管相連，與所述多個(gè)工控主機(jī)相連的交換機(jī)，以及與交換機(jī)相連的輸入設(shè)備和顯示設(shè)備，其中，將各個(gè)工控主機(jī)采集到的數(shù)據(jù)和信息通過(guò)所述交換機(jī)轉(zhuǎn)至所述顯示設(shè)備上，所述輸入設(shè)備輸入的控制指令通過(guò)所述交換機(jī)轉(zhuǎn)至預(yù)定的工控主機(jī)。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面的擴(kuò)散爐系統(tǒng)，其中所述輸入設(shè)備和顯示設(shè)備是觸摸屏。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面的擴(kuò)散爐系統(tǒng)，其中所述輸入設(shè)備是鍵盤和鼠標(biāo)。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面的擴(kuò)散爐系統(tǒng)，其中輸入設(shè)備在接收到特定的輸入指令后切換監(jiān)視和控制的目標(biāo)。

本發(fā)明的一個(gè)方面公開了一種擴(kuò)散爐控制方法，包括：收集所述擴(kuò)散爐中多根擴(kuò)散管的數(shù)據(jù)和信息，以及在同一臺(tái)顯示設(shè)備上顯示多根擴(kuò)散管的數(shù)據(jù)和信息。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面的擴(kuò)散爐控制方法，還包括通過(guò)一臺(tái)輸入裝置對(duì)多根擴(kuò)散管進(jìn)行控制。

通過(guò)本發(fā)明，可以降低操作人員的工作強(qiáng)度，進(jìn)而減少誤操作的產(chǎn)生。

附圖說(shuō)明

通過(guò)閱讀以下詳細(xì)說(shuō)明，并參考附圖，可以對(duì)本發(fā)明有一個(gè)更全面的了解。附圖中：

圖1示出了現(xiàn)有技術(shù)中的擴(kuò)散爐控制模式；

圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的擴(kuò)散爐控制模式；

圖3示出了根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的擴(kuò)散爐控制模式。

具體實(shí)施方式

如圖1所示，現(xiàn)有的擴(kuò)散爐控制系統(tǒng)主要包括工控主機(jī)和顯示屏。工控主機(jī)，即工業(yè)控制計(jì)算機(jī)，又稱過(guò)程計(jì)算機(jī)，其負(fù)責(zé)采集來(lái)自擴(kuò)散管工作過(guò)程的數(shù)據(jù)和信息，并接受來(lái)自操作人員的控制指令對(duì)擴(kuò)散管的工作過(guò)程進(jìn)行控制。圖1中的顯示屏不僅向操作人員顯示所接收到的工控主機(jī)采集的數(shù)據(jù)和信息，而且在現(xiàn)有技術(shù)中常常是觸摸屏，因而操作人員也能夠通過(guò)對(duì)屏幕的觸控向工控主機(jī)發(fā)出控制指令，并進(jìn)而由工控主機(jī)向與其相連接的擴(kuò)散管發(fā)出控制命令。