[發明專利]光阻剝離液的供應系統及其供應方法

有效

• 申請號: 201210068615.9
• 申請日: 2012-03-14
• 公開（公告）號: CN102566334A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 吳昌駿;李志文;林家弘;許譽騰
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 黃艷;鄭特強

1.一種光阻剝離液的供應系統，包括：

一第一儲存槽，用以儲存并供應一第一光阻剝離廢液；

一處理設備，與該第一儲存槽連接，該處理設備接收并處理該第一光阻剝離廢液，以分別輸出一光阻剝離液與一第二光阻剝離廢液；

一第二儲存槽，與該處理設備連接，該第二儲存槽用以儲存并輸出來自該處理設備的該光阻剝離液；及

一第三儲存槽，與該處理設備連接，該第三儲存槽用以儲存來自該處理設備的該第二光阻剝離廢液；

其中于一第一運轉階段時，該處理設備輸出該第二光阻剝離廢液至該第一儲存槽，并停止輸出該第二光阻剝離廢液至該第三儲存槽；于一第二運轉階段時，該處理設備輸出該第二光阻剝離廢液至第三儲存槽，并停止輸出該第二光阻剝離廢液至該第一儲存槽。

2.如權利要求1所述的光阻剝離液的供應系統，其中于該第一運轉階段時，該處理設備還輸出該光阻剝離液至該第一儲存槽，并停止輸出該光阻剝離液至該第二儲存槽，于該第二運轉階段時，該處理設備還輸出該光阻剝離液至該第二儲存槽，并停止輸出該光阻剝離液至該第一儲存槽。

3.如權利要求1所述的光阻剝離液的供應系統，其中該處理設備加熱該第一光阻剝離廢液，于該處理設備中被加熱的該第一光阻剝離廢液的溫度到達一預定溫度時，則由該第一運轉階段進入該第二運轉階段，而該預定溫度介于80℃～100℃之間。

4.如權利要求3所述的光阻剝離液的供應系統，其中該預定溫度約為90℃。

5.如權利要求1所述的光阻剝離液的供應系統，包括：

一第一管路，連接該第一儲存槽與該處理設備；

一第二管路，連接該處理設備與該第二儲存槽；

一第三管路，連接該處理設備與該第三儲存槽；

一第四管路，連接該第一儲存槽與該處理設備；及

一第五管路，連接該第一儲存槽與該處理設備。

6.如權利要求5所述的光阻剝離液的供應系統，其中該第四管路還連接于該第二管路，該第五管路還連接于該第三管路，該第四管路通過部分的該第二管路連接于該處理設備，該第五管路通過部分的第三管路連接于該處理設備。

7.如權利要求6所述的光阻剝離液的供應系統，還包括一控制閥，設置于該第二管路及該第四管路相連接處，或者，設置于該第三管路及該第五管路相連接處。

8.如權利要求7所述的光阻剝離液的供應系統，其中該控制閥為三通閥。

9.如權利要求5所述的光阻剝離液的供應系統，還包括一控制閥，設置于該第二管路、第三管路、第四管路或該第五管路。

10.如權利要求7或9所述的光阻剝離液的供應系統，還包括一控制器，該控制器連接該控制閥以控制該控制閥的啟閉。

11.一種光阻剝離液的供應方法，包括有下列步驟：

提供一光阻剝離液的供應系統，包括一第一儲存槽，以儲存并供應一第一光阻剝離廢液；一處理設備，以接收并處理該第一光阻剝離廢液，并輸出一光阻剝離液與一第二光阻剝離廢液；一第二儲存槽，以儲存該處理設備輸出的該光阻剝離液；一第三儲存槽，以儲存該處理設備輸出的該第二光阻剝離廢液；

于一第一運轉階段時，該處理設備輸出該第二光阻剝離廢液至該第一儲存槽，并停止輸出該第二光阻剝離廢液至該第三儲存槽；及

于一第二運轉階段時，該處理設備輸出該第二光阻剝離廢液至該第三儲存槽，并停止輸出該第二光阻剝離廢液至該第一儲存槽。

12.如權利要求11所述的光阻剝離液的供應方法，其中于該第一運轉階段時，該處理設備還輸出該光阻剝離液至該第一儲存槽，并停止輸出該光阻剝離液至該第二儲存槽，于該第二運轉階段時，該處理設備還輸出該光阻剝離液至該第二儲存槽，并停止輸出該光阻剝離液至該第一儲存槽。

13.如權利要求11所述的光阻剝離液的供應方法，其中該處理設備加熱該第一光阻剝離廢液，于該處理設備中被加熱的該第一光阻剝離廢液的溫度到達一預定溫度時，則由該第一運轉階段進入該第二運轉階段，而該預定溫度介于80℃～100℃之間。

14.如權利要求13所述的光阻剝離液的供應方法，其中該預定溫度約為90℃。