[發明專利]一種硅片金相樣品的簡易制備方法無效
| 申請號： | 201210064597.7 | 申請日： | 2012-03-12 |
| 公開（公告）號： | CN102589951A | 公開（公告）日： | 2012-07-18 |
| 發明（設計）人： | 宮龍飛;王風振 | 申請（專利權）人： | 蘇州協鑫工業應用研究院有限公司 |
| 主分類號： | G01N1/28 | 分類號： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 肖明芳 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硅片 金相 樣品 簡易 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅片金相樣品的簡易制備方法，其特征在于，它包括如下步驟：
(1)選取平整的圓柱作為硅片的載板；
(2)將熱熔膠置于載板上表面，加熱載板至熱熔膠熔化；
(3)將硅片平放在載板上表面且覆蓋于熱熔膠之上，用另一個平整的壓塊施壓于硅片上；
(4)冷卻載板至室溫，使熱熔膠固化；
(5)對步驟(4)制備好的樣品進行拋光處理；
(6)拋光處理后，重新加熱載板使固熔膠熔化，硅片脫落取下；
(7)清洗硅片，完成超薄硅片的金相制樣。
2.根據權利要求1所述的硅片金相樣品的簡易制備方法，其特征在于，所述的硅片厚度在250μm以下。
3.根據權利要求1所述的硅片金相樣品的簡易制備方法，其特征在于，步驟(1)中，所述的圓柱材質為不銹鋼、硬質合金或陶瓷。
4.根據權利要求1所述的硅片金相樣品的簡易制備方法，其特征在于，步驟(2)和步驟(6)中，載板的加熱溫度為70～100℃。
5.根據權利要求1所述的硅片金相樣品的簡易制備方法，其特征在于，步驟(3)中，壓塊的質量為50～100g。
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