[發(fā)明專利]晶硅硅片的切片制絨一體化方法及裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210062228.4
• 申請日: 2012-03-09
• 公開（公告）號: CN102544240A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊雷;何晨旭;殷海亭;凌振江;王冬松;王步峰
• 申請（專利權(quán)）人: 潤峰電力有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;B28D5/00
• 代理公司: 濟南圣達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 37221
• 代理人: 王立曉

1.晶硅硅片的切片制絨一體化裝置，其特征是，包括由一個出線輪、兩個張力輪、多個導(dǎo)輪、兩個輥輪、一個收線輪及纏繞在它們上面的金剛石切割線組成的切割線運動系統(tǒng)，輥輪與電機相連帶動金剛石切割線運動，張力輪控制金剛石切割線的張力，兩個輥輪之間對應(yīng)的金剛石切割線上方設(shè)有固定裝置，固定裝置上固定有硅塊，輥輪、導(dǎo)輪及纏繞在其上的金剛石切割線置于盛有制絨切削液的液槽內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶硅硅片的切片制絨一體化裝置，其特征是，所述的金剛石切割線有多條且平行等距離排列。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶硅硅片的切片制絨一體化裝置，其特征是，所述的輥輪上設(shè)有導(dǎo)槽。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶硅硅片的切片制絨一體化裝置，其特征是，所述的固定裝置包括固定板和夾具。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶硅硅片的切片制絨一體化裝置，其特征是，所述的切割線運動系統(tǒng)中金剛石切割線由出線輪出線，經(jīng)導(dǎo)輪和張力輪繞在兩個輥輪上，并從輥輪出來經(jīng)導(dǎo)輪和張力輪收線至收線輪。

6.使用權(quán)利要求1所述的裝置進(jìn)行晶硅硅片的切片制絨一體化方法，其特征是，包括步驟如下：

(1)將金剛石切割線等距離纏繞密排布在輥輪的導(dǎo)槽上；

(2)將待切片的硅塊置于金剛石切割線正上方；

(3)將堿性制絨切削液注入到液槽內(nèi)，浸沒金剛石切割線和硅塊；

(4)轉(zhuǎn)動輥輪，逐漸緩慢下壓硅塊接觸金剛石切割線進(jìn)行切片。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶硅硅片的切片制絨一體化方法，其特征是，所述的堿性制絨切削液的質(zhì)量百分比組成為：0.1～0.5％氫氧化鈉、2～6％異丙醇、2～4％葡萄糖酸內(nèi)酯、10～20％硬脂酸咪唑啉、0.5～1％乙二胺四乙酸鈉和余量去離子水。