[發明專利]離子化學熱處理爐真空壓強自動控制方法及其裝置

有效

• 申請號: 201210060706.8
• 申請日: 2012-03-09
• 公開（公告）號: CN102586723A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: 韓伯群;趙程
• 申請（專利權）人: 江蘇豐東熱技術股份有限公司
• 主分類號: C23C8/36
• 分類號: C23C8/36;C23C10/06;C23C16/52;C23C16/503
• 代理公司: 無錫互維知識產權代理有限公司 32236
• 代理人: 王愛偉

1.離子化學熱處理爐真空壓強自動控制方法，其特征在于：將離子化學熱處理爐的真空壓強變送器、氣體流量變送器、變頻器和旋片式機械真空泵電動機構成一個閉環控制系統；真空壓強變送器用于檢測熱處理爐體內的壓強，并將檢測信號輸送給程序控制器，控制計算機將真空壓強采樣值與設定值進行比較運算后輸出控制信號到變頻器，變頻器根據輸入信號對應輸出不同頻率的交流電壓以改變機械真空泵的電動機轉速，從而改變真空泵的抽氣速率，使爐內壓強恒定在工藝設定的壓強值；當機械真空泵電動機的轉速降低到某一給定的下限值時，熱處理爐內的壓強仍低于給定的真空壓強值，由控制計算機輸出一信號，通過程序控制器和氣體流量變送器提高進氣的流量，直至熱處理爐內的壓強達到給定的真空壓強值。

2.依據上述自動控制方法，離子化學熱處理爐真空壓強自動控制裝置，它包括變頻器、真空壓強變送器和機械真空泵，其特征在于：它至少還包括氣體流量變送器、程序控制器和控制計算機，氣體流量變送器設置在真空爐輸氣管道上，真空壓強變送器的數據采集端直接接觸熱處理爐內壓力，機械真空泵設置在爐體排氣口上，程序控制器分別與變頻器、真空壓強變送器、氣體流量變送器信號連接，變頻器與機械真空泵電動機線路連接，控制計算機與程序控制器信號連接。