[發明專利]柔性CIGS薄膜太陽電池窗口層制備工藝

無效

• 申請號: 201210054328.2
• 申請日: 2012-03-05
• 公開（公告）號: CN103296128A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 張建柱;孫玉娣;馬格林;彭博
• 申請（專利權）人: 任丘市永基光電太陽能有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;C23C14/35
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種柔性銅銦鎵硒薄膜太陽電池窗口層的制備工藝，其特征在于：利用卷對卷的生產工藝，依次在不銹鋼為襯底上沉積背電極層/CIGS吸收層/CdS緩沖層/窗口層/減反膜/柵電極。窗口層氧化鋅利用磁控濺射的方法制備。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：銅銦鎵硒薄膜太陽電池的柔性特點體現在襯底使用的為25～100μm厚的不銹鋼帶。

3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：制備形式采用卷對卷(Roll-To-Roll)的鍍膜方式，改繞卷式的工藝是實現大面積薄膜、大批量生產的最佳途徑。

4.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于：窗口層的制備分本證氧化鋅i-ZnO與摻鋁氧化鋅ZnO:Al的制備。首先在緩沖層上濺射本證氧化鋅i-ZnO，然后在本證氧化鋅上沉積ZnO:Al。

5.據權利要求4所述的制備方法，其特征在于：本證氧化鋅的制備采用雙極性中頻濺射電源，摻鋁氧化鋅的制備采用直流脈沖電源。

6.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于：本證氧化鋅i-ZnO濺射室的真空度為1×10^-4～1×10^-3Pa，摻鋁氧化鋅ZnO:Al濺射室的真空度為1×10^-4～1×10^-3Pa。

7.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于：本證氧化鋅i-ZnO的濺射鍍膜采用對向靶濺射的方式，這樣可最大限度的減小濺射過程中高能粒子對緩沖層的沖擊。摻鋁氧化鋅ZnO:Al的濺射鍍膜采用可調式對向靶的鍍膜方式，可調靶的角度為0～90°，這樣可以減小濺射過程中對本證氧化鋅膜的沖擊。

8.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于：電池卷由精密電機和結構控制勻速運動，實現卷對卷的本證氧化鋅i-ZnO的濺射鍍膜。完成本證氧化鋅i-ZnO的濺射鍍膜后，進行回卷濺射，實現摻鋁氧化鋅ZnO:Al的制備。

9.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于：本證氧化鋅i-ZnO鍍膜厚度為50～100nm，摻鋁氧化鋅ZnO:Al鍍膜厚度為500～1000nm。