[發(fā)明專利]基于光強(qiáng)探測(cè)的高靈敏度傳感系統(tǒng)

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210052676.6
• 申請(qǐng)日: 2012-03-02
• 公開（公告）號(hào): CN102636200A
• 公開（公告）日: 2012-08-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張曉光;吳遠(yuǎn)大;王玥;張家順;安俊明;王紅杰;李建光;胡雄偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
• 主分類號(hào): G01D5/32
• 分類號(hào): G01D5/32
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 湯保平

1.一種基于光強(qiáng)探測(cè)的高靈敏度傳感系統(tǒng)，包括：

一光源；

一第一3dB光分束器，其輸入端與光源連接，用于光的分束；

一第一光功率計(jì)，其輸入端與第一3dB光分束器的第一輸出端連接；

一傳感芯片，其輸入端與第一3dB光分束器的第二輸出端連接；

一第二光功率計(jì)，其輸入端與傳感芯片的輸出端連接；

一處理器，其輸入端與第一光功率計(jì)和第二光功率計(jì)的輸出端連接，用于對(duì)數(shù)據(jù)的處理、分析。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于光強(qiáng)探測(cè)的高靈敏度傳感系統(tǒng)，其中傳感芯片包括：

一第二3dB光分束器，包括一輸入波導(dǎo)、一第一輸出波導(dǎo)和一第二輸出波導(dǎo)；

一傳感微腔，其一側(cè)與第二3dB光分束器的第一輸出波導(dǎo)耦合；

一參考微腔，其一側(cè)與第二3dB光分束器的第二輸出波導(dǎo)耦合；

一2×1光合束器，包括一第一光輸入波導(dǎo)、一第二光輸入波導(dǎo)和一光輸出波導(dǎo)，所述2×1光合束器的第一光輸入波導(dǎo)與傳感微腔的另一側(cè)耦合，第二光輸入波導(dǎo)與參考微腔的另一側(cè)耦合；

一樣品槽，用于容置傳感微腔。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于光強(qiáng)探測(cè)的高靈敏度傳感系統(tǒng)，其中第一3dB光分束器是光纖3dB光分束器或光波導(dǎo)3dB光分束器。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于光強(qiáng)探測(cè)的高靈敏度傳感系統(tǒng)，其中第二3dB光分束器和2×1光合束器是Y分支型、多模干涉型或者定向耦合型。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于光強(qiáng)探測(cè)的高靈敏度傳感系統(tǒng)，其中傳感微腔和參考微腔是微環(huán)、微盤、微球或光子晶體微腔。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于光強(qiáng)探測(cè)的高靈敏度傳感系統(tǒng)，其中傳感微腔與第二3dB光分束器的第一輸出波導(dǎo)的耦合是基于倏逝波耦合，其耦合方式為橫向耦合或者垂直耦合。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于光強(qiáng)探測(cè)的高靈敏度傳感系統(tǒng)，其中傳感微腔與2×1光合束器的第一光輸入波導(dǎo)的耦合是基于倏逝波耦合，其耦合方式為橫向耦合或者垂直耦合。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于光強(qiáng)探測(cè)的高靈敏度傳感系統(tǒng)，其中參考微腔與第二3dB光分束器的第二輸出波導(dǎo)的耦合是基于倏逝波耦合，其耦合方式為橫向耦合或者垂直耦合。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于光強(qiáng)探測(cè)的高靈敏度傳感系統(tǒng)，其中參考微腔與2×1光合束器的第二光輸入波導(dǎo)的耦合是基于倏逝波耦合，其耦合方式為橫向耦合或者垂直耦合。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的基于光強(qiáng)探測(cè)的高靈敏度傳感系統(tǒng)，其中用于制作該傳感芯片的材料是SOI、有機(jī)物或者硅基二氧化硅。