[發(fā)明專利]一種電鍍機(jī)臺(tái)退火腔體氣體管路無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201210048766.8 | 申請(qǐng)日： | 2012-02-28 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN102534713A | 公開（公告）日： | 2012-07-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 蘇亞青;文靜 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C25D5/50 | 分類號(hào)： | C25D5/50;F27D7/00;C21D1/74;C21D1/26;C21D9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陸花 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 電鍍 機(jī)臺(tái) 退火 氣體 管路 | ||
1.一種電鍍機(jī)臺(tái)退火腔體氣體管路，其特征在于，包括：
多個(gè)退火腔體；
氣體總管路，通過(guò)多個(gè)氣體分支管路連接于所述多個(gè)退火腔體，其中，
所述每個(gè)氣體分支管路與氣體總管路連接處設(shè)置有質(zhì)量流量計(jì)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電鍍機(jī)臺(tái)退火腔體氣體管路，其特征在于，所述退火腔體的數(shù)量為2到10個(gè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電鍍機(jī)臺(tái)退火腔體氣體管路，其特征在于，所述氣體總管路輸送氣體為熱傳導(dǎo)氣體、還原氣體和凈化氣體。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電鍍機(jī)臺(tái)退火腔體氣體管路，其特征在于，所述熱傳導(dǎo)氣體為氦氣，所述還原氣體為氫氣，所述凈化氣體為氮?dú)狻?/p>
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電鍍機(jī)臺(tái)退火腔體氣體管路，其特征在于，所述氣體總管路上同樣設(shè)置有質(zhì)量流量計(jì)。
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