[發明專利]在FTO/glass 基板表面制備Nd 和Co 共摻的BiFeO3 薄膜的方法

無效

• 申請號: 201210045995.4
• 申請日: 2012-02-27
• 公開（公告）號: CN102534588A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 談國強;薛旭
• 申請（專利權）人: 陜西科技大學
• 主分類號: C23C20/08
• 分類號: C23C20/08
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 田洲

1.一種在FTO/glass基板表面制備Nd和Co共摻的BiFeO₃薄膜的方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1：將FTO/glass基板表面清洗干凈；

步驟2：將FTO/glass基板放入烘箱烘干，取出靜置至室溫；

步驟3：將FTO/glass基板置于紫外光照射儀中照射，使基片表面達到原子清潔度；

步驟4：將Bi(NO₃)₃·9H₂O、Fe(NO₃)₃·5H₂O、Nd(NO₃)₃·6H₂O和Co(NO₃)₂·6H₂O按摩爾比0.98∶(1-x)∶0.1∶x溶于乙二醇甲醚和醋酸酐的混合液中，得到穩定的BiFeO₃前驅液，金屬離子濃度為0.1～0.5mol/L；其中，x＝0.01～0.05；混合液中乙二醇甲醚和醋酸酐的體積比為3∶1～3∶2；

步驟5：采用旋涂法在FTO/glass基片上旋涂BiFeO₃前驅液制備薄膜，勻膠結束后，烘烤得干膜，然后再預退火、退火得到晶態Nd和Co共摻的BiFeO₃薄膜。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟1中采用洗滌劑、丙酮、乙醇進行超聲波清洗，每次超聲波清洗后用蒸餾水沖洗，最后用氮氣吹干。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟2中將FTO/glass基板放入70℃烘箱中烘干。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟4中的到的BiFeO₃前驅液中金屬離子濃度為0.1～0.5mol/L。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟5中勻膠速度為3000～6000r/min，勻膠時間為15s。

6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟5中在300℃烘烤5～10min得干膜。

7.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟5中在溫度為500℃，保溫2～5min的條件下進行預退火。

8.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟5中在溫度為550℃，保溫20～30min的條件下進行退火。

9.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟5中重復旋涂制備薄膜、烘烤得干膜、預退火的步驟直到得到期望厚度的薄膜后再進行退火得到晶態BiFeO₃薄膜。