[發明專利]凈化室的逆流防止裝置

有效

• 申請號: 201210044273.7
• 申請日: 2012-02-23
• 公開（公告）號: CN102788400A
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發明（設計）人: 池野直也;奧井洋介
• 申請（專利權）人: 松下電器產業株式會社
• 主分類號: F24F7/007
• 分類號: F24F7/007;F24F11/02
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 劉文海

技術領域

本發明涉及在半導體制造工廠、FPD(Flat?Panel?Display)制造工廠、精密機械工廠、或藥品制造工廠等的無塵室或無菌室中適用的凈化室的逆流防止裝置。

背景技術

一直以來，作為實現高潔凈度的凈化室的方式，有圖6所示那樣的整面下降流方式。在該方式中，頂室264內的空氣從設置在凈化室262的頂部的風扇過濾器單元(以下，稱為FFU)217的空氣取入口向凈化室262內流入，由內部的鼓風機升壓且由高性能過濾器除塵之后，潔凈的空氣在凈化室262內向鉛垂下方流動。接下來，通過凈化室262的篩板261而流入底板下室263，經由返回流路266而返回頂室264，從而形成循環流。通過此種循環，同樣的空氣多次由高性能過濾器除塵，因此在凈化室262的運轉開始并經過了某一段時間之后，凈化室262內保持高潔凈度。

在半導體工廠或FPD制造工廠中，伴隨著裝置的高集成化，而要求將潔凈度或溫濕度等環境條件控制成更高的水平。而且，由于近年來的半導體或FPD的價格競爭的激化，而要求減少凈化室的建設成本即最初成本、及凈化室自身的運行成本。因此，嘗試了削減FFU等潔凈空氣吹出裝置的設置臺數的辦法。

在凈化室262內，通常FFU或僅具備風扇的制造裝置265設置多個，其取入的空氣在大多數情況下向外部空氣排出或直接向底板下室263排出，從而凈化室262內的空氣量減少。因此，在削減了設置于凈化室頂部264的FFU217等潔凈空氣吹出裝置的設置臺數時，會產生凈化室262的室內的壓力比底板下室263的壓力低的部位，從而從底板下室263向凈化室262的室內發生逆流。

當從底板下室263向凈化室262的室內產生逆流時，凈化室262的室內的鉛垂向下的空氣流動會發生較大的紊亂，成為凈化度惡化的原因。而且，在底板下室263內通常配置有泵、藥品槽、配管類等，堆積附著在這些附帶設備的表面上的塵埃與逆流空氣一起飛揚，流入凈化室262的室內，因此污染顯著加重。此種逆流引起的污染的問題是推進凈化室262的省設備化及省能量化而越接近設計極限越無法避免的重要的課題。

因此，作為現有技術，在底板的附近位置配置檢測空氣的流動方向或速度的傳感器，且設有控制機構，該控制機構按照傳感器的檢測值來調整從設置在凈化室頂部的FFU217吹出的潔凈空氣的流量。

在該控制機構中，設置在凈化室底板的附近的傳感器是通過檢測以底板為邊界的上下空間的差壓而間接地檢測空氣的流動方向或速度的差壓計。控制機構為了使所述差壓計檢測的差壓成為恒定范圍內，而調整從設置在凈化室頂部264的FFU217吹出的潔凈空氣的流量，由此，不會發生來自底板下室的逆流，明確地顯示出削減設置在凈化室頂部264的FFU217等潔凈空氣吹出裝置的設置臺數的效果(例如，參照日本特開2004-218919號公報)。

然而，在上述現有的結構中，能夠抑制從底板下室向凈化室內逆流的問題，但還留有以下的課題。即，伴隨著排氣的設備或裝置為發生逆流的主要原因，凈化室內的空氣不足為發生逆流的本質的主要原因。設置于頂部的FFU在凈化室內處于距空氣不足的部位遠的位置，因此空氣分散，需要從所述FFU供給比在凈化室內真正不足的流量多出很多的流量。因此，無法減少設置于頂部的FFU的流量，結果是能量成本大幅增加。

發明內容

本發明鑒于上述現有問題而提出，其目的在于提供一種能夠消除凈化室內的負壓部位，防止凈化室的來自底板下的逆流的凈化室的逆流防止裝置。

為了實現上述目的，本發明如下所述構成。

根據本發明的第一形態，提供一種凈化室的逆流防止裝置，在該凈化室中，使從頂部面吹出的潔凈空氣朝向由通氣性的底板分隔的底板下室，從而使氣流以下降流進行流動，

所述凈化室的逆流防止裝置具備：

對所述凈化室的所述底板下室的空氣進行吸引的吸引口；

向所述凈化室內吹出所述空氣的吹出口；

從所述吸引口吸引所述底板下室的所述空氣并將其從所述吹出口向所述凈化室內吹出的風扇；

對從所述吹出口吹出的空氣流的高度方向的朝向進行調整的板狀的吹出角度調整用翅片；

在所述吹出口從裝置中心呈放射狀地延伸且在高度方向上相互平行的板狀的放射狀空氣吹出用翅片；

對所述風扇進行驅動控制，將所述凈化室內不足的流量從所述底板下室向所述凈化室內供給的控制裝置。

如以上所述，根據本發明的凈化室的逆流防止裝置，通過從底板下室向凈化室內供給而能夠彌補凈化室內不足的流量，不會發生來自底板下室的逆流，能夠進行減少了循環次數的節省的凈化設計。