[發明專利]磁鐵塊固定裝置及磁浮重力補償器中磁鐵塊的安裝方法有效
| 申請號: | 201210041115.6 | 申請日: | 2012-02-22 |
| 公開(公告)號: | CN103293860A | 公開(公告)日: | 2013-09-11 |
| 發明(設計)人: | 王茜;邊旭;陳文樞 | 申請(專利權)人: | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/20 | 分類號: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李時云 |
| 地址: | 201203 上*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 磁鐵 固定 裝置 重力 補償 安裝 方法 | ||
1.一種磁鐵塊固定裝置,用于在磁浮重力補償器中安裝圓弧形的磁鐵塊(3),所述磁浮重力補償器具有圓筒形的磁鐵安裝座(1),安裝完成后所述磁鐵塊(3)位于磁鐵安裝座(1)內圓周面上,其特征在于:所述磁鐵塊固定裝置包括固定所述磁鐵安裝座(1)的基座(2)、以及固定在該基座上面的法蘭座(4),所述法蘭座(4)上面安裝有固定座(6)和模具(5);還包括固定片(7)。
2.根據權利要求1所述的磁鐵塊固定裝置,其特征在于:所述固定座(6)上制有與固定片(7)配合的楔面。
3.根據權利要求2所述的磁鐵塊固定裝置,其特征在于:所述固定片與所述固定座(6)配合固定所述磁鐵塊(3)。
4.根據權利要求1或2或3所述的磁鐵塊固定裝置,其特征在于:所述磁鐵安裝座(1)與基座(2)通過螺釘及定位銷固定,所述法蘭座(4)通過螺釘及定位銷裝在基座(2)上,所述固定座(6)通過螺釘裝在法蘭座(4)上,所述模具通過螺釘及定位銷裝在法蘭座(4)上。
5.根據權利要求4所述的磁鐵塊固定裝置,其特征在于:所述模具與法蘭座(4)之間設有連接座(8),模具與連接座之間、法蘭座與連接座之間均通過螺釘及定位銷固定安裝。
6.一種磁浮重力補償器中磁鐵塊的安裝方法,使用了如上述任意一項權利要求所述的磁鐵塊固定裝置,其特征在于包括以下步驟:
步驟一:將磁鐵安裝座通過螺釘及定位銷安裝在基座上;
步驟二:將法蘭座通過螺釘及定位銷安裝在基座的第一安裝位上;
步驟三:將固定座、模具通過螺釘安裝在法蘭座上;
步驟四:將第一部分磁鐵塊涂膠,放置在模具與磁鐵安裝座之間;
步驟五:將固定片放置在固定座與所述第一部分磁鐵塊之間,使所述第一部分磁鐵塊固定;
步驟六:待所述第一部分磁鐵塊與磁鐵安裝座完全黏合,依次取下固定片、模具。
7.一種如權利要求6所述的磁浮重力補償器中磁鐵塊的安裝方法,其特征在于還包括以下步驟:
步驟七:將法蘭座通過螺釘及定位銷安裝在基座的第二安裝位上;
步驟八:將第二部分磁鐵塊涂膠,放置在所述第一部分磁鐵塊之間的空隙間;
步驟九:將固定片放置在固定座與所述第二部分磁鐵塊之間,使所述第二部分磁鐵塊固定;
步驟十:待所述第二部分磁鐵塊與磁鐵安裝座完全黏合,依次取下固定片、固定座,完成磁鐵安裝座內圓周面上底排的磁鐵安裝。
8.一種如權利要求7所述的磁浮重力補償器中磁鐵塊的安裝方法,其特征在于:重復步驟一至步驟十,將所述步驟二中的法蘭座安裝在基座的第三安裝位上;在所述步驟四中法蘭座之上增設連接座,將固定座、模具通過螺釘安裝在連接座上;將所述步驟八中法蘭座安裝在基座的第四安裝位上;完成磁鐵安裝座內圓周面上上排的磁鐵塊安裝。
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