[發(fā)明專利]用于帶電粒子顯微術(shù)中的檢測方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210032344.1
• 申請(qǐng)日: 2012-02-14
• 公開（公告）號(hào): CN102637571A
• 公開（公告）日: 2012-08-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: P.哈拉文卡;M.昂科夫斯基
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: FEI公司
• 主分類號(hào): H01J37/26
• 分類號(hào): H01J37/26;H01J37/244
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 蔣駿;王忠忠

1.一種利用帶電粒子顯微鏡（400,500）研究樣本的方法，包括步驟：

-提供帶電粒子顯微鏡，具有粒子光柱（402,510）；

-利用粒子光柱使帶電粒子的成像射束對(duì)準(zhǔn)樣本；

-用成像射束照射樣本，其結(jié)果引起輸出輻射通量從樣本發(fā)出；

-利用檢測器檢查所述輸出輻射的至少一部分，

其特征在于：

-將所述檢測器配備為包括與提供可調(diào)電偏置的電源相連接的固態(tài)光電倍增器（1）；

-調(diào)整所述偏置以便調(diào)整固態(tài)光電倍增器的增益值；

-匹配所述增益值與所述通量的大小，以便使固態(tài)光電倍增器在其飽和閾值以下操作。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中：

-輸出輻射的所述一部分包括粒子輻射；

-采用閃爍器（3）將至少一些所述粒子輻射轉(zhuǎn)換為光子輻射；

-使所述光子輻射指向所述固態(tài)光電倍增器（1）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2的方法，其中：

-閃爍器（3）和固態(tài)光電倍增器（1）以層疊結(jié)構(gòu)在其間插進(jìn)插入的光學(xué)透明分離器層（5）；

-層疊結(jié)構(gòu)被部分地封裝在電絕緣材料的夾套（7）中，讓閃爍器的至少一部分被暴露。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任意一項(xiàng)的方法，其中檢測器是包括多個(gè)固態(tài)光電倍增器的空間分布式結(jié)構(gòu)，所述多個(gè)固態(tài)光電倍增器放置在成像射束與樣本的交點(diǎn)周圍。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任意一項(xiàng)的方法，其中檢測器（130,420,530）位于粒子光柱（402,510）之內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5的方法，其中配備樣本夾持器以便于在粒子光柱的電磁場之內(nèi)放置樣本。

7.根據(jù)前述權(quán)利要求任意一項(xiàng)的方法，其中所述帶電粒子顯微鏡從包括掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡、掃描透射電子顯微鏡、聚焦離子射束工具、電子射束誘發(fā)沉積工具、離子射束誘發(fā)沉積工具、雙射束帶電粒子顯微鏡、臨界尺寸顯微鏡、光刻工具、以及其混合的組中選擇。

8.根據(jù)前述權(quán)利要求任意一項(xiàng)的方法，其中所述檢測器從包括：

-固態(tài)光電倍增器；

-具有共享檢測電路的芯片內(nèi)像素化的雪崩光電二極管的陣列；

-多像素光子計(jì)數(shù)器，

及其組合的組中選擇。

9.一種帶電粒子顯微鏡（400,500），被構(gòu)造和布置為執(zhí)行如權(quán)利要求1至8任意一項(xiàng)中所要求保護(hù)的方法。