[發明專利]便攜式真空規校準系統及方法

無效

• 申請號: 201210027997.0
• 申請日: 2012-02-09
• 公開（公告）號: CN102564696A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 盧耀文
• 申請（專利權）人: 江蘇東方航天校準檢測有限公司
• 主分類號: G01L27/00
• 分類號: G01L27/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及便攜式真空規校準系統及方法，用于較寬量程范圍內現場或實驗室真空規的校準或測試，屬于測量技術領域。

背景技術

在眾多的科研生產過程中，采用大量的真空規監測產品生產過程，其測量結果對產品的質量具有重要影響，但實驗室校準過的真空規在現場使用中，由于環境條件的變化測量結果與實驗室校準數據產生較大偏差，同時大量的真空規送往實驗室校準將會導致生產線停止生產，造成嚴重的經濟損失。因此本專利提出了便攜式真空規校準系統及方法，系統的重量小于40公斤，校準范圍為10^-6～10⁵Pa。

文獻“比對法真空計量標準裝置的研制”，《宇航計測技術》第66期、1992年第6期、第70～73頁”，介紹了比對法真空規的校準方法及校準系統，但其校準范圍為10^-4～10⁵Pa，且在10^-4～10^-1Pa壓力范圍內通過磁懸浮轉子規進行測量，這種測量方法的下限受制于磁懸浮轉子規測量下限，同時磁懸浮轉子規成本比較昂貴，再加上該系統比較龐大，只適合在實驗室使用，無法滿足現場真空規的校準需求。本專利提出了便攜式真空規校準系統及方法，通過參考標準現場比對校準真空規，系統具有質量輕(小于40公斤)、校準范圍寬(10^-6～10⁵Pa)、便攜等優點，從而解決了現場各種真空規的校準問題。

發明內容

本發明的目的是為了提出便攜式真空規校準系統及方法。

本發明的目的是通過以下技術方案實現的。

本發明的便攜式真空規校準系統，包括機械泵1、第一真空閥門2、分子泵3、第二真空閥門4、第一真空規5、第二真空規6、第三真空規7、閥門8、第四真空規9、小孔10、微調真空閥門11、氣源12、真空室13和第五真空規14；

機械泵1與第一真空閥門2的一端連接，第一真空閥門2的另一端與分子泵3的一端連接，分子泵3的另一端與第二真空閥門4的一端連接，第二真空閥門4的另一端與真空室13連接；真空室13還與第一真空規5、第二真空規6、第四真空規9的一端、第五真空規14以及小孔10的一端連接；第四真空規9的另一端與閥門8的一端連接，閥門8的另一端與第三真空規7連接；小孔10的另一端與微調真空閥門11的一端連接，微調真空閥門11的另一端與氣源12連接。

機械泵1與真空閥門2連接，分子泵3一端與真空閥門2連接，另一端與真空閥門4連接；真空室13上安裝有真空規5、6、9、14，真空規7通過閥門8與真空室13連接，真空室13的上端與小孔10連接，微調真空閥門11一端與氣源12連接，另一端與小孔10連接。

當被校準范圍在10⁵～10^-1Pa時，采用電容薄膜規作為參考標準，當校準范圍在10^-6～10^-2Pa時，采用B-A型副標準電離規作為參考標準，校準過程根據被校準范圍選擇合適的參考標準并確定真空室需要的真空度；

所選用第一真空規5是B-A型副標準電離規，其測量范圍為10^-9～10^-1Pa，使用前必須穩定工作1小時以上；

第三真空規7和第四真空規9采用電容薄膜規(CDG)作為參考標準，其滿量程分別為1Torr、1000Torr，精度都小于或等于讀數的0.12％，使用前必須穩定4小時以上；

所選第五真空規14是監測真空規是復合型規，其測量范圍為10^-9～10⁵Pa，在一個大氣壓下可直接打開；

整個系統的重量小于40公斤；整個系統之間采用管路連接。

本發明的便攜式真空規校準方法，具體步驟為：

1)將被校準第二真空規6安裝在真空室13上，并檢查密封性；

2)打開機械泵1，然后打開第一真空閥門2和第二真空閥門4對真空室13及閥門管道抽氣，打開第五真空規14，當第五真空規14測量值小于10Pa時，打開分子泵3抽真空；

3)當真空室13中真空度小于0.1Pa時，打開閥門8，如果校準范圍在10^-6～10^-2Pa時，打開第一真空規5和第二真空規6，并進入第4)步；如果校準范圍在10^-1～10⁵Pa時打開第二真空規6、第三真空規7和第四真空規9，并進入第5)步；