[發明專利]聲波器件和濾波器有效
| 申請號： | 201210027528.9 | 申請日： | 2012-02-08 |
| 公開（公告）號： | CN102638244A | 公開（公告）日： | 2012-08-15 |
| 發明（設計）人： | 谷口真司;西原時弘;橫山剛;坂下武 | 申請（專利權）人： | 太陽誘電株式會社 |
| 主分類號： | H03H9/145 | 分類號： | H03H9/145;H03H9/64 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 李輝;張旭東 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 聲波 器件 濾波器 | ||
1.一種聲波器件，所述聲波器件包括：
基板；
壓電膜，所述壓電膜形成在所述基板上；
下電極，所述下電極設置在所述壓電膜的第一表面上；
上電極，所述上電極設置在所述壓電膜的與所述第一表面相對的第二表面上；以及
質量負荷膜，所述質量負荷膜在諧振部分中具有第一圖案和第二圖案，在所述諧振部分內所述下電極和所述上電極隔著所述壓電膜彼此面對，
所述第一圖案具有多個部分，并且所述第二圖案具有將所述第一圖案的所述多個部分相互連接的多個部分。
2.根據權利要求1所述的聲波器件，其中，所述第二圖案的所述部分具有小于所述第一圖案的所述部分的寬度。
3.根據權利要求1或2所述的聲波器件，其中，所述第一圖案的所述部分是規則排列的。
4.根據權利要求1或2所述的聲波器件，其中，所述第一圖案的所述部分具有相同形狀。
5.根據權利要求1或2所述的聲波器件，其中，所述第二圖案的所述部分具有相同寬度。
6.根據權利要求1或2所述的聲波器件，其中，所述第一圖案和所述第二圖案由所述質量負荷膜限定。
7.根據權利要求1或2所述的聲波器件，其中，所述第一圖案和所述第二圖案由形成在所述質量負荷膜中的開口限定。
8.根據權利要求1或2所述的聲波器件，其中，所述質量負荷膜由與構成所述下電極或者所述上電極的材料不同的材料制成。
9.根據權利要求1或2所述的聲波器件，其中，所述質量負荷膜包括多個膜，所述多個膜中的每個膜具有所述第一圖案和所述第二圖案。
10.根據權利要求1或2所述的聲波器件，其中，所述下電極被形成為在所述下電極和所述基板之間限定圓頂形腔。
11.一種包括聲波器件的濾波器，所述聲波器件包括：
基板；
壓電膜，所述壓電膜形成在所述基板上；
下電極，所述下電極設置在所述壓電膜的第一表面上；
上電極，所述上電極設置在所述壓電膜的與所述第一表面相對的第二表面上；以及
質量負荷膜，所述質量負荷膜在諧振部分中具有第一圖案和第二圖案，在所述諧振部分內所述下電極和所述上電極隔著所述壓電膜彼此面對，
所述第一圖案具有多個部分，并且所述第二圖案具有將所述第一圖案的所述多個部分相互連接的多個部分。
12.根據權利要求11所述的濾波器，其中，所述聲波器件包括多個諧振器，所述多個諧振器中的至少兩個諧振器具有不同的所述第一圖案和所述第二圖案相對于所述諧振部分的占據比。
13.根據權利要求12所述的濾波器，其中，所述多個諧振器中的所述至少兩個諧振器中的所述質量負荷膜的厚度相同。
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