[發明專利]CIS器件電氣故障分析測試方法及測試系統有效

申請號：	201210024592.1	申請日：	2012-02-03
公開（公告）號：	CN103245844A	公開（公告）日：	2013-08-14
發明（設計）人：	潘建峰;徐明潔;張曉東;潘國華	申請（專利權）人：	中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
主分類號：	G01R31/00	分類號：	G01R31/00;G01J1/10
代理公司：	上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237	代理人：	屈蘅;李時云
地址：	201203 ***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	cis 器件電氣故障分析測試方法系統
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【說明書】：

技術領域

本發明涉及集成電路技術領域，特別涉及一種CIS器件電氣故障分析測試方法及測試系統。

背景技術

CIS(CMOS?Image?Sensor，CMOS圖像傳感器)器件在我們的日常生活中扮演著越來越重要的角色，其已成為移動電話、筆記本電腦、數碼相機、數碼攝像機等多種數碼產品中的必備部件。而隨著技術的發展，人們對數碼產品中顯示畫面的質量要求也越來越高。為了得到高質量的顯示畫面，CIS器件中的像素數量變得越來越多，與此同時，每個像素的尺寸變得越來越小。由此，對于CIS器件的電氣故障分析提出了越來越高的要求。

現有技術中，采用如下測試方法實現對CIS器件的電氣故障分析，包括：將CIS器件置于測試機臺上，此時，打開測試機臺，使得測試機臺能夠向CIS器件提供光照；接著，獲取光照之下的CIS器件的黑白照片。所述黑白照片顯示了CIS器件中各像素的情況，例如，有的像素顯示正常(合格)，有的像素由于缺陷而顯示為一個暗點或者一個亮點(不合格)，通過CIS器件中各像素的情況，便可進行CIS器件的電氣故障分析。

但是，該黑白照片是一張像素非常緊密且非常小的照片，通過裸眼(即只依靠人體的眼睛，而不通過任何輔助工具)是很難發現照片中各像素的缺陷的，即難以獲取CIS器件中各像素的情況。為此，現有技術中通常采用窗口畫圖工具(windows?paint?too1)，對該黑白照片進行多次切割，然后將每次切割后的部分予以放大，觀測放大后的部分中包含的像素的情況。

請參考圖1a～1b，其中，圖1a為光照之下的CIS器件的黑白照片的示意圖；圖1b為圖1a中選中的部分(方框框起來的部分)的放大示意圖。觀測圖1a中的黑白照片將難以發現CIS器件中存在缺陷的像素，而觀測圖1b中被放大的部分之后，將發現在該被放大的部分中具有三個有缺陷的像素，其中，一個為亮點缺陷，兩個為暗點缺陷。

但是，通過該方法進行CIS器件的電氣故障分析需要對CIS器件的黑白照片進行上百次切割，并將每一個切割后的部分予以放大、觀測，這對于人力的消耗非常大。同時，如此操作所產生的誤差也非常大，一來由于正常像素均顯示在該黑白照片上，對于觀測缺陷像素是一種干擾；二來操作人員在進行大量的切割及觀測之后，往往發生切割誤差或者錯過對一些缺陷像素的捕捉。由此，降低了CIS器件電氣故障分析的可靠性。

發明內容

本發明的目的在于提供一種CIS器件電氣故障分析測試方法及測試系統，以解決現有的CIS器件電氣故障分析測試方法可靠性不高的問題。

為解決上述技術問題，本發明提供一種CIS器件電氣故障分析測試方法，包括：

將CIS器件置于測試機臺，此時，測試機臺向CIS器件提供光照；

獲取CIS器件中每個像素的亮度；

根據CIS器件中每個像素的亮度信息，得到CIS器件中的不合格像素；

輸出CIS器件中不合格像素的信息。

可選的，在所述的CIS器件電氣故障分析測試方法中，所述不合格像素包括：亮度大于第一標準量或者亮度小于第二標準量的像素，其中，第一標準量大于第二標準量。

可選的，在所述的CIS器件電氣故障分析測試方法中，輸出CIS器件中不合格像素的信息包括：輸出CIS器件中不合格像素的數量。

可選的，在所述的CIS器件電氣故障分析測試方法中，輸出CIS器件中不合格像素的信息包括：輸出CIS器件中不合格像素的亮度。

可選的，在所述的CIS器件電氣故障分析測試方法中，輸出CIS器件中不合格像素的信息包括：輸出CIS器件中不合格像素的不合格類別。

可選的，在所述的CIS器件電氣故障分析測試方法中，所述不合格類別包括：不合格類別“1”及不合格類別“0”，其中，不合格類別“1”為像素的亮度大于第一標準量；不合格類別“0”為像素的亮度小于第二標準量。