[發明專利]大幅面介質阻擋放電等離子體表面處理系統

無效

• 申請號: 201210023522.4
• 申請日: 2012-02-02
• 公開（公告）號: CN102869180A
• 公開（公告）日: 2013-01-09
• 發明（設計）人: 湯文杰;褚庭亮;俞朝暉;陳立強
• 申請（專利權）人: 中國印刷科學技術研究所
• 主分類號: H05H1/24
• 分類號: H05H1/24
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨

1.一種大幅面介質阻擋放電等離子體表面處理系統，包括等離子體處理組件，其特征在于，所述的等離子體處理組件為介質阻擋放電等離子體處理組件。

2.根據權利要求1所述的大幅面介質阻擋放電等離子體表面處理系統，其特征在于，在所述的介質阻擋放電等離子體處理組件的上方設有臭氧吸收裝置。

3.根據權利要求1所述的大幅面介質阻擋放電等離子體表面處理系統，其特征在于，所述的介質阻擋放電等離子體處理組件包括接地輥筒、電極板和輸氣裝置，接地輥筒的主軸兩端轉動支撐在機架上，在接地輥筒的上面裝有一對弧面與接地輥筒同軸心的并與該接地輥筒外周面留有相等放電間距的電極板；在兩個電極板之間裝有輸氣裝置。

4.根據權利要求3所述的大幅面介質阻擋放電等離子體表面處理系統，其特征在于，所述的輸氣裝置由氣刀和導流槽組成，在氣刀的出氣縫隙與接地輥筒的頂端之間設有導流槽，一對所述的電極板分別連接在該導流槽的兩側；該電極板、氣刀和導流槽的長度均與接地輥筒的長度相對應。

5.根據權利要求3所述的大幅面介質阻擋放電等離子體表面處理系統，其特征在于，在所述的電極板內設有水冷通道，該水冷通道兩端連接有穿出電極板兩端的循環水接口；所述的電極板的兩端分別安裝在一個弧形絕緣的電極支架一側的安裝臺階上，所述的循環水接口穿出電極支架外，電極支架的弧形與所述的接地輥筒同軸心；電極板面積可增大或縮小，接高壓電源，電源電壓10-30KV，頻率為10-30KHz。

6.根據權利要求3所述的大幅面介質阻擋放電等離子體表面處理系統，其特征在于，在所述的接地輥筒內設有冷卻通道，該冷卻通道的兩端與循環水回路連接；所述的電極板不冷卻。

7.根據權利要求5所述的大幅面介質阻擋放電等離子體表面處理系統，其特征在于，所述的電極板與接地輥筒之間的放電間距為0.5-5mm，在該放電間距內產生等離子體；所述的電極支架兩端將接地輥筒的兩端的外沿拐角包圍，在保證接地輥筒自由轉動的前提下，盡量減少氣流從端面漏出。

8.根據權利要求2所述的大幅面介質的阻擋放電等離子體表面處理系統，其特征在于，所述的臭氧吸收裝置由抽風罩和臭氧消除器組成，抽風罩設在所述的等離子體處理組件的上部周圍，其作用是防止臭氧擴散到操作環境中；在該抽風罩的頂端設有臭氧消除器，將臭氧吸收或催化分解。

9.根據權利要求3所述的大幅面介質的阻擋放電等離子體表面處理系統，其特征在于，所述的電極板由并列的多個電極棒組成，相鄰的電極棒之間用粘接劑相互密封連接形成弧面，導流槽與電極板之間的空隙也用粘結劑填充。

10.根據權利要求3所述的大幅面介質阻擋放電等離子體表面處理系統，其特征在于，所述的電極棒為水冷電極棒，包括介質管、金屬管、絕緣管、端蓋、有機膠、無機膠和金屬粉，在介質管的兩端從內之外依次設有端蓋、有機膠和無機膠；金屬管的長度小于介質管長度，兩端口位于無機膠的中間位置，金屬管與金屬材質的端蓋連接；在該金屬管的兩端各對接一絕緣管，兩根絕緣管的外端穿出無機膠，該絕緣管的粗細和壁厚與所述的金屬管一致；一個所述的端蓋焊有高壓導線，該高壓導線延伸至電極棒外；在兩個端蓋之間填充金屬粉；所述的金屬管和絕緣管作為水冷通道，絕緣管的外端與循環水接口連接。

11.根據權利要求1所述的大幅面介質的阻擋放電等離子體表面處理系統，其特征在于，所述的電極棒為無水冷電極棒，包括介質管、端蓋、有機膠、無機膠和金屬粉，在介質管的兩端從內之外依次設有端蓋、有機膠和無機膠；兩個端蓋分別與一根金屬導線的兩端連接，其中一個端蓋的焊有高壓導線，該高壓導線延伸至電極棒外；在兩個端蓋之間填充金屬粉。