[發(fā)明專利]表面清潔裝置與表面清潔方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210023120.4
• 申請(qǐng)日: 2012-02-02
• 公開（公告）號(hào): CN103240244A
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林進(jìn)誠(chéng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 林進(jìn)誠(chéng)
• 主分類號(hào): B08B7/04
• 分類號(hào): B08B7/04;B08B1/00;B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京泛誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11298
• 代理人: 文琦;陳波

1.一種表面清潔裝置，包括：

一基板定位裝置，用以固定一待處理表面；

一掃拂裝置，用以對(duì)所述待處理表面作連續(xù)的掃拂；

一移動(dòng)裝置，用以使所述待處理表面與所述掃拂裝置作相對(duì)運(yùn)動(dòng)；及

一流體清潔材料供應(yīng)裝置，用以將一流體清潔材料供應(yīng)到所述掃拂裝置的掃拂表面，以移除所述待處理表面上的部分材料；

其中，所述流體清潔材料包括一可流動(dòng)載體以及至少一種高硬度材料顆粒。

2.如權(quán)利要求1的表面清潔裝置，其中，所述基板定位裝置為一真空吸盤。

3.如權(quán)利要求1的表面清潔裝置，其中，所述移動(dòng)裝置將所述待處理表面移動(dòng)到所述掃拂裝置的掃拂表面。

4.如權(quán)利要求1的表面清潔裝置，其中，所述移動(dòng)裝置將所述掃拂裝置的掃拂表面移動(dòng)到待處理表面。

5.如權(quán)利要求3或4項(xiàng)的表面清潔裝置，其中，所述移動(dòng)裝置還使所述待處理表面與所述掃拂裝置兩者作相對(duì)運(yùn)動(dòng)。

6.如權(quán)利要求1的表面清潔裝置，其中，所述掃拂裝置是選自下列當(dāng)中之一：轉(zhuǎn)動(dòng)型掃拂裝置，平面型掃拂裝置及旋轉(zhuǎn)型掃拂裝置。

7.如權(quán)利要求1的表面清潔裝置，其中，所述掃拂材料為具有相當(dāng)長(zhǎng)度的軟質(zhì)條狀材料或輪狀材料。

8.如權(quán)利要求7的表面清潔裝置，其中，所述掃拂材料為不織布。

9.如權(quán)利要求1的表面清潔裝置，其中，所述流體清潔材料供應(yīng)裝置是一可控制流體供應(yīng)量的裝置。

10.如權(quán)利要求1的表面清潔裝置，其中，所述流體清潔材料的可流動(dòng)載體為一種液體或一種黏稠性物體。

11.如權(quán)利要求10的表面清潔裝置，其中，所述流體清潔材料為水。

12.如權(quán)利要求1的表面清潔裝置，其中，所述高硬度材料顆粒為硬度在8或以上，顆粒尺寸在#500與#1500之間的材料。

13.如權(quán)利要求12的表面清潔裝置，其中，所述高硬度材料顆粒為碳化硅。

14.如權(quán)利要求1的表面清潔裝置，其中，所述高硬度材料顆粒與所述可流動(dòng)載體的比例在10g/l與50g/l之間。

15.如權(quán)利要求14的表面清潔裝置，其中，所述高硬度材料顆粒與所述可流動(dòng)載體的比例在15g/l與25g/l之間。

16.如權(quán)利要求1的表面清潔裝置，還包括一清洗裝置，用來(lái)清洗已經(jīng)移除了待處理材料的待處理表面。

17.如權(quán)利要求1的表面清潔裝置，還包括一干燥裝置，用來(lái)將處理后或清洗后的待處理表面作干燥處理。

18.如權(quán)利要求1的表面清潔裝置，還包括一回收裝置，用來(lái)回收使用過(guò)的流體清潔材料。

19.一種表面清潔方法，包括下列步驟：

固定一待處理表面；

對(duì)所述待處理表面施加一流體清潔材料；及

在施加流體清潔材料的同時(shí)以一掃拂材料連續(xù)掃拂所述待處理表面：

其中，所述流體清潔材料包括一可流動(dòng)載體以及至少一種高硬度材料顆粒。

20.如權(quán)利要求19的表面清潔方法，還包括使所述待處理表面與所述掃拂材料的掃拂表面作相對(duì)運(yùn)動(dòng)的步驟。

21.如權(quán)利要求20的表面清潔方法，其中，所述待處理表面以一移動(dòng)定位裝置加以固定，以將所述待處理表面固定后移動(dòng)，以與所述掃拂材料的掃拂表面作相對(duì)運(yùn)動(dòng)。

22.如權(quán)利要求20的表面清潔方法，其中，所述相對(duì)運(yùn)動(dòng)是利用：移動(dòng)所述待處理表面的方式、移動(dòng)所述掃拂材料的方式，及同時(shí)移動(dòng)所述待處理表面與所述掃拂材料的方式中的任一種方式來(lái)實(shí)施。

23.如權(quán)利要求19的表面清潔方法，其中，所述掃拂材料以轉(zhuǎn)動(dòng)掃拂、平面掃拂及旋轉(zhuǎn)掃拂中的至少一種方法掃拂所述待處理表面。

24.如權(quán)利要求19項(xiàng)的表面清潔方法，還包括一清洗已清潔的待處理表面的步驟。

25.如權(quán)利要求19的表面清潔方法，還包括一干燥待處理表面及其它表面的步驟。