[發(fā)明專(zhuān)利]表面發(fā)射半導(dǎo)體激光器裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210020795.3
• 申請(qǐng)日: 2012-01-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102610997A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-07-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蓋德·艾伯特·羅格若;方瑞雨;阿里桑德羅·斯塔諾;朱莉安娜·莫若羅
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 安華高科技光纖IP(新加坡)私人有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01S5/026
• 分類(lèi)號(hào): H01S5/026
• 代理公司: 北京東方億思知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11258
• 代理人: 宋鶴

1.一種表面發(fā)射半導(dǎo)體激光器裝置，包括：

襯底，具有上表面和下表面；

多個(gè)半導(dǎo)體層，至少包括最下層和最上層，其中，所述最下層被布置在所述襯底的上表面上，所述多個(gè)半導(dǎo)體層中形成有邊緣發(fā)射激光器，以在該激光器被激活時(shí)產(chǎn)生具有激光發(fā)射波長(zhǎng)的激光，所述激光器具有第一端面和第二端面，其中，在所述激光器被激活時(shí)，具有所述激光發(fā)射波長(zhǎng)的激光通過(guò)所述第二端面從所述激光器出來(lái)；

形成在所述多個(gè)半導(dǎo)體層中的溝道；

布置在所述溝道中的聚合物材料，所述聚合物材料至少包括上表面、下表面和傾斜側(cè)面；

折射或衍射透鏡，位于所述聚合物材料的上表面中或上表面上；

側(cè)反射器，位于所述聚合物材料的傾斜側(cè)面上，所述傾斜側(cè)面大致面向所述激光器的第二端面；以及

下反射器，位于所述襯底的上表面上，所述襯底的上表面大致位于所述聚合物材料的下表面下方并且大致面向所述聚合物材料的上表面，其中，通過(guò)所述激光器的第二端面出來(lái)的激光的至少一部分經(jīng)過(guò)所述聚合物材料傳播并且由所述側(cè)反射器沿著大致朝向所述下反射器的方向反射，并且其中，被反射的激光的至少一部分入射到所述下反射器上并且由所述下反射器沿著大致朝向所述折射或衍射透鏡的方向再次反射，并且其中，所述折射或衍射透鏡接收被再次反射的激光的至少一部分并且使得所接收的部分被沿著所述襯底的上表面大致法向的方向引導(dǎo)到所述表面發(fā)射半導(dǎo)體激光器裝置之外。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面發(fā)射半導(dǎo)體激光器裝置，其中，所述折射或衍射透鏡是折射透鏡。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面發(fā)射半導(dǎo)體激光器裝置，其中，所述折射或衍射透鏡是衍射透鏡。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面發(fā)射半導(dǎo)體激光器裝置，其中，所述折射或衍射透鏡是組合了折射和衍射特性的透鏡。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面發(fā)射半導(dǎo)體激光器裝置，其中，所述邊緣發(fā)射激光器包括屋脊結(jié)構(gòu)，所述屋脊結(jié)構(gòu)是通過(guò)經(jīng)過(guò)所述多個(gè)半導(dǎo)體層的至少一部分進(jìn)行蝕刻而形成的。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的表面發(fā)射半導(dǎo)體激光器裝置，其中，所述邊緣發(fā)射激光器是法布里-珀羅(F-P)激光器。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的表面發(fā)射半導(dǎo)體激光器裝置，還包括：

布置在所述第一端面和所述第二端面上的高反射性(HR)涂層。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面發(fā)射半導(dǎo)體激光器裝置，其中，所述邊緣發(fā)射激光器包括埋入衍射光柵，所述埋入衍射光柵形成在所述多個(gè)半導(dǎo)體層的一個(gè)層或多個(gè)層中。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的表面發(fā)射半導(dǎo)體激光器裝置，其中，所述邊緣發(fā)射激光器是分布反饋(DFB)激光器。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的表面發(fā)射半導(dǎo)體激光器裝置，還包括：

布置在所述第一端面和所述第二端面上的抗反射(AR)涂層。

11.一種制造表面發(fā)射半導(dǎo)體激光器裝置的方法，所述方法包括：

在襯底上沉積或生長(zhǎng)多個(gè)半導(dǎo)體層，所述多個(gè)半導(dǎo)體層至少包括最下層和最上層，其中，所述最下層被布置在所述襯底的上表面上；

在所述多個(gè)半導(dǎo)體層的一個(gè)層或多個(gè)層中形成邊緣發(fā)射激光器，所述邊緣發(fā)射激光器用于產(chǎn)生具有激光發(fā)射波長(zhǎng)的激光，所述激光器具有第一端面和第二端面，其中，如果所述激光器被激活，則由所述激光器產(chǎn)生的激光通過(guò)所述第二端面從所述激光器出來(lái)；

在所述多個(gè)半導(dǎo)體層中形成溝道；

將聚合物材料布置在所述溝道中，所述聚合物材料至少包括上表面、下表面和傾斜側(cè)面；

在所述聚合物材料的上表面內(nèi)或上表面上形成折射或衍射透鏡；

將側(cè)反射器布置在所述聚合物材料的傾斜側(cè)面上，所述傾斜側(cè)面大致面向所述激光器的第二端面；以及

將下反射器布置在所述襯底的上表面上，所述襯底的上表面大致位于所述聚合物材料的下表面下方并且大致面向所述聚合物材料的上表面。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中，所述折射或衍射透鏡是折射透鏡。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中，所述折射或衍射透鏡是衍射透鏡。

14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中，所述折射或衍射透鏡是組合了折射和衍射特性的透鏡。