[發明專利]一種凸非球面光學元件的面型檢測裝置有效
| 申請號： | 201210018650.X | 申請日： | 2012-01-20 |
| 公開（公告）號： | CN102589467A | 公開（公告）日： | 2012-07-18 |
| 發明（設計）人： | 彭云峰;林建華;郭隱彪;董之然;白志揚 | 申請（專利權）人： | 廈門大學 |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 廈門南強之路專利事務所 35200 | 代理人： | 馬應森 |
| 地址： | 361005 *** | 國省代碼： | 福建;35 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 球面 光學 元件 檢測 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種凸非球面光學元件的面型檢測裝置，其特征在于設有光源、反射鏡、接收鏡、檢測平臺、升降臺和分析處理系統；所述反射鏡設于光源的出射光束前方，檢測平臺設于反射鏡的反射光束前方，接收鏡設于被測光學元件的反射光束前方，分析處理系統設于接收鏡的反射光束前方；
所述檢測平臺自下而上依次設有垂直運動機構、擺動機構和回轉機構；
所述垂直運動機構設有底座、第1支承油腔、升降桿、絲桿電機、連接板、微調楔塊和限位槽；所述微調楔塊位于底座上，連接板固定在微調楔塊上，連接板與絲桿電機通過滾珠絲桿連接；所述升降臺由微調楔塊支撐，附在升降臺上的升降桿位于限位槽內，微調楔塊與升降臺的接觸面上和升降桿與限位槽的接觸面上開有第2支承油腔；
所述擺動機構設有第3支承油腔、靜壓止推軸承、轉軸、C軸工作臺、擺動平臺和伺服電機；C軸工作臺固定在擺動平臺上，擺動平臺通過轉軸連接在升降臺上，伺服電機驅動轉軸，進而帶動擺動平臺在平面內繞軸轉動，所述轉軸兩端裝有靜壓止推軸承，并固定在升降臺上；第3支撐油腔設在升降臺的凹槽內；
所述回轉機構設有馬達和A軸工作臺，所述馬達位于C軸工作臺上，馬達與A軸工作臺直接相連，馬達驅動A軸工作臺在平面內做回轉運動；被測光學元件設于A軸工作臺上。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于廈門大學，未經廈門大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201210018650.X/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：溫度傳感器
- 下一篇：中間連桿機構及槽式熱發電系統的連桿增力旋轉定位機構
