[發明專利]一種雙腔準分子激光器的同步控制系統

有效

• 申請號: 201210015368.6
• 申請日: 2012-01-18
• 公開（公告）號: CN102593704A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: 梁勖;王效順;鮑健;方曉東
• 申請（專利權）人: 中國科學院安徽光學精密機械研究所
• 主分類號: H01S3/102
• 分類號: H01S3/102;G05B19/042
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

1.一種雙腔準分子激光器的同步控制系統，包括雙腔準分子激光器本體，其特征在于：還包括直流電源、充電模塊、第一升壓模塊、第一磁開關模塊、第二升壓模塊、第二磁開關模塊和同步控制模塊，所述直流電源給充電模塊供電，所述充電模塊將電能分兩路輸出，一路依次經第一升壓模塊升壓、第一磁開關模塊脈沖壓縮后對雙腔準分子激光器的MO腔進行放電激勵，另一路依次經第二升壓模塊升壓、第二磁開關模塊脈沖壓縮后對雙腔準分子激光器的PA腔進行放電激勵，所述同步控制模塊的控制端輸出信號至第一、第二升壓模塊，同步控制模塊的信號采集端分別采集雙腔準分子激光器MO腔和PA腔的放電信號。

2.根據權利要求1所述的一種雙腔準分子激光器的同步控制系統，其特征在于：所述同步控制模塊由取樣電路、高速光耦、延時電路、時序判斷電路、單片機和高速放大電路構成，所述單片機發出脈沖信號，脈沖信號依次經延時電路延時、高速光耦隔離、高速放大電路放大后分別傳送至第一升壓模塊和第二升壓模塊，所述取樣電路分別對雙腔準分子激光器的MO腔和PA腔進行取樣得到取樣信號，取樣信號依次經高速光耦隔離、時序判斷電路判斷后傳送至單片機，單片機根據取樣信號對延時電路進行延時控制并繼續發送脈沖信號。

3.根據權利要求1所述的一種雙腔準分子激光器的同步控制系統，其特征在于：所述第一升壓模塊和第二升壓模塊結構相同，且第一升壓模塊和第二升壓模塊與充電模塊之間均設有儲能電容器。

4.根據權利要求1所述的一種雙腔準分子激光器的同步控制系統，其特征在于：所述第一磁開關模塊和第二磁開關模塊均包括有多級磁開關。

5.根據權利要求1所述的一種雙腔準分子激光器的同步控制系統，其特征在于：所述延時電路中采用數字可編程延遲發生器。

6.根據權利要求1所述的一種雙腔準分子激光器的同步控制系統，其特征在于：所述同步控制模塊中延時電路、時序判斷電路和單片機與外界通過高速光耦隔離，并采用屏蔽盒進行屏蔽，所述同步控制模塊整體也采用屏蔽盒進行屏蔽。