[發(fā)明專利]光纖對接連接器的安裝座及其制作方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210014895.5 | 申請日： | 2012-01-18 |
| 公開（公告）號： | CN102540354A | 公開（公告）日： | 2012-07-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 袁曉君;陳春光;廖鵬 | 申請（專利權(quán)）人： | 深圳市芯聯(lián)芯通信科技有限公司 |
| 主分類號： | G02B6/38 | 分類號： | G02B6/38;G02B6/136 |
| 代理公司： | 深圳市科吉華烽知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 44248 | 代理人： | 孫偉 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市福田區(qū)*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 光纖 對接 連接器 安裝 及其 制作方法 | ||
1.一種光纖對接連接器的安裝座，其特征在于：該安裝座包括座體（10）以及設(shè)置于該座體（10）上表面的V型槽（20），所述V型槽（20）的表面覆蓋有保護層（30）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述光纖對接連接器的安裝座，其特征在于：所述V型槽（20）為至少兩條，各V型槽（20）平行設(shè)置，所述保護層（30）覆蓋各V型槽（20）。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述光纖對接連接器的安裝座，其特征在于：所述座體（10）為硅基材料制成。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述光纖對接連接器的安裝座，其特征在于：所述保護層（30）為石英玻璃。
5.一種如權(quán)利要求1至4中任一項所述光纖對接連接器的安裝座的制作方法，其特征在于：該方法包括以下步驟：?A.加工硅基材料的安裝座，并在該安裝座上表面加工V型槽；?B.在步驟A加工的V型槽上化學(xué)沉淀保護層。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制作方法，其特征在于：所述步驟A中包括以下分步驟：?A1.選擇晶圓，并采用化學(xué)方式生長氧化層和氮層；?A2.高速旋轉(zhuǎn)涂抹光刻膠，并光照制版；?A3.刻蝕氧化層和氮層，除去光刻膠并清洗；?A4.第二次蝕刻，去除氧化層和氮層；?A5.化學(xué)沉積SiO2。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制作方法，其特征在于：所述步驟A3中刻蝕氧化層和氮層采用干法蝕刻工藝。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制作方法，其特征在于：所述步驟A3中刻蝕氧化層和氮層采用反應(yīng)離子刻蝕。
9.根據(jù)權(quán)利要求6至8中任一項所述的制作方法，其特征在于：所述步驟A4中的第二次蝕刻采用氫氧化鉀蝕刻液。
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