[發明專利]光纖與光波導芯片高效垂直耦合互連的封裝方法無效
| 申請號： | 201210014097.2 | 申請日： | 2012-01-18 |
| 公開（公告）號： | CN102540349A | 公開（公告）日： | 2012-07-04 |
| 發明（設計）人： | 蘇淑靖;焦新泉;薛晨陽;臧俊斌;閆樹斌;張文棟;仝曉剛;晉玉劍;王景雪;崔丹鳳;韋麗萍;王永華;田學東 | 申請（專利權）人： | 中北大學 |
| 主分類號： | G02B6/34 | 分類號： | G02B6/34 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 030051*** | 國省代碼： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光纖 波導 芯片 高效 垂直 耦合 互連 封裝 方法 | ||
1.一種光纖與光波導芯片高效垂直耦合互連的封裝方法，其特征在于，其包括以下步驟：
在SOI材料上采用微加工工藝制備出硅基納米波導光柵，并應用掃描電鏡對硅基納米波導光柵進行掃描；
準備好實驗封裝時所應用的低折射率固化封裝材料，并應用折射率檢測儀測定低折射率固化封裝材料的折射率；
制備實驗所用的單模光纖，主要為單模光纖進行刨層處理，然后進行酒精擦拭和端面切割；
在硅基納米波導光柵的表面涂覆光學增透膜；
在以上基礎上搭建垂直耦合測試系統，通過六維位移調節架結合長焦距CCD和紅外CCD調整單模光纖和硅基納米波導光柵兩者之間的位置；
用準備好的低折射率固化封裝材料點膠單模光纖與硅基納米波導光柵的耦合端，并記錄六維位移調節架所對應的硅基納米波導光柵耦合單模光纖的入射角；
對點膠的內部封裝體進行曝光固化；
根據上述記錄的入射角，制備出頂部有一個與垂直方向成入射角的V型光纖定位槽；
將上述點膠固化后的單模光纖放置到V型光纖定位槽中；
用準備好的固化膠粘性材料點膠到V型光纖定位槽內進行單模光纖的固化封裝；
對點膠的V型光纖定位槽進行曝光固化；
對最終封裝后的結構進行測試。
2.如權利要求1所述的光纖與光波導芯片高效垂直耦合互連的封裝方法，其特征在于，所述單模光纖的模場直徑為10um。
3.如權利要求1所述的光纖與光波導芯片高效垂直耦合互連的封裝方法，其特征在于，所述單模光纖通過固化膠粘性材料固定在V型光纖定位槽內。
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