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[發(fā)明專利]用于CMOS圖像傳感器的線結(jié)合內(nèi)插板封裝及其制造方法無(wú)效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201210012092.6 申請(qǐng)日: 2012-01-16
公開(公告)號(hào): CN103151360A 公開(公告)日: 2013-06-12
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: V.奧加涅相 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 奧普蒂茲公司
主分類號(hào): H01L27/146 分類號(hào): H01L27/146
代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 馬麗娜;盧江
地址: 美國(guó)加利*** 國(guó)省代碼: 美國(guó);US
權(quán)利要求書: 查看更多 說(shuō)明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 用于 cmos 圖像傳感器 結(jié)合 插板 封裝 及其 制造 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種圖像傳感器封裝,包括:

裝卸器組件,所述裝卸器組件包括:

具有相對(duì)的第一和第二表面的晶體裝卸器,其中所述晶體裝卸器包括腔體,所述腔體形成到第一表面中使得所述腔體具有限定至少一個(gè)臺(tái)階表面的階梯側(cè)壁,所述至少一個(gè)臺(tái)階表面向內(nèi)延伸到所述腔體里面,以及

多個(gè)導(dǎo)電元件,所述多個(gè)導(dǎo)電元件均通過所述晶體裝卸器從所述至少一個(gè)臺(tái)階表面延伸到第二表面;

設(shè)置在腔體中的傳感器芯片,其中所述傳感器芯片包括:

具有前和后相對(duì)表面的基板,

形成在前表面處的多個(gè)光電檢測(cè)器,以及

形成在前表面處的電耦合到光電檢測(cè)器的多個(gè)接觸焊盤;

多個(gè)線,所述多個(gè)線均在接觸焊盤中的一個(gè)和導(dǎo)電元件中的一個(gè)之間延伸并且電連接所述接觸焊盤中的一個(gè)和導(dǎo)電元件中的一個(gè);以及

設(shè)置在腔體上并且被安裝到晶體裝卸器的基板,其中所述基板對(duì)至少一個(gè)范圍的光波長(zhǎng)是光學(xué)透明的。

2.如權(quán)利要求1所述的圖像傳感器封裝,進(jìn)一步包括:

多個(gè)表面安裝互連,所述多個(gè)表面安裝互連均設(shè)置在晶體裝卸器的第二表面上,并且均電連接到導(dǎo)電元件中的一個(gè)。

3.如權(quán)利要求2所述的圖像傳感器封裝,其中對(duì)于每一個(gè)導(dǎo)電元件:

導(dǎo)電元件在第一導(dǎo)電焊盤中的所述至少一個(gè)臺(tái)階表面處終止,其中所述線中的一個(gè)被連接到第一導(dǎo)電焊盤;以及

導(dǎo)電元件在第二導(dǎo)電焊盤中的第二表面處終止,其中所述表面安裝互連中的一個(gè)被連接到第二導(dǎo)電焊盤;

其中第一和第二導(dǎo)電焊盤均具有比導(dǎo)電元件的橫向尺寸大的橫向尺寸。

4.如權(quán)利要求1所述的圖像傳感器封裝,其中所述傳感器芯片進(jìn)一步包括:

安裝在光電檢測(cè)器上的多個(gè)濾色器和微透鏡。

5.如權(quán)利要求1所述的圖像傳感器封裝,其中基板具有這樣的表面:所述表面的一部分設(shè)置在光電檢測(cè)器上并且是非平面的。

6.如權(quán)利要求1所述的圖像傳感器封裝,其中所述多個(gè)導(dǎo)電元件通過介電材料與晶體裝卸器絕緣。

7.如權(quán)利要求1所述的圖像傳感器封裝,其中:

所述腔體具有設(shè)置得比臺(tái)階表面高的第一部分和設(shè)置得比臺(tái)階表面低的第二部分;

第二部分具有比第一部分的橫向尺寸小的橫向尺寸;以及

傳感器芯片設(shè)置在第二部分中。

8.如權(quán)利要求7所述的圖像傳感器封裝,其中傳感器芯片完全設(shè)置在第二部分內(nèi)。

9.一種封裝傳感器芯片的方法,所述圖像傳感器包括具有前和后相對(duì)表面的基板,形成在前表面處的多個(gè)光電檢測(cè)器,以及形成在前表面處的電耦合到光電檢測(cè)器的多個(gè)接觸焊盤,所述方法包括:

提供具有相對(duì)的第一和第二表面的晶體裝卸器;

將腔體形成到第一表面中使得所述腔體具有限定至少一個(gè)臺(tái)階表面的階梯側(cè)壁,所述至少一個(gè)臺(tái)階表面向內(nèi)延伸到所述腔體里面;

形成均通過所述晶體裝卸器從所述至少一個(gè)臺(tái)階表面延伸到第二表面的多個(gè)導(dǎo)電元件;

將傳感器芯片插入腔體中;

在傳感器芯片和所述多個(gè)導(dǎo)電元件之間附貼多個(gè)線使得每個(gè)線在接觸焊盤中的一個(gè)和導(dǎo)電元件中的一個(gè)之間延伸并且電連接所述接觸焊盤中的一個(gè)和導(dǎo)電元件中的一個(gè);以及

將基板安裝到晶體裝卸器使得基板被設(shè)置在腔體上,其中所述基板對(duì)至少一個(gè)范圍的光波長(zhǎng)是光學(xué)透明的。

10.如權(quán)利要求9所述的方法,進(jìn)一步包括:

形成多個(gè)表面安裝互連,所述多個(gè)表面安裝互連均設(shè)置在晶體裝卸器的第二表面上,并且均電連接到導(dǎo)電元件中的一個(gè)。

11.如權(quán)利要求10所述的方法,其中所述多個(gè)導(dǎo)電元件中的每一個(gè)被如此形成使得:

導(dǎo)電元件在第一導(dǎo)電焊盤中的所述至少一個(gè)臺(tái)階表面處終止,其中所述線中的一個(gè)被連接到第一導(dǎo)電焊盤;以及

導(dǎo)電元件在第二導(dǎo)電焊盤中的第二表面處終止,其中表面安裝互連中的一個(gè)被連接到第二導(dǎo)電焊盤;

其中第一和第二導(dǎo)電焊盤均具有比導(dǎo)電元件的橫向尺寸大的橫向尺寸。

12.如權(quán)利要求9所述的方法,其中基板具有這樣的表面:所述表面的一部分設(shè)置在光電檢測(cè)器上并且是非平面的。

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