[發(fā)明專利]提高掩模板開口位置精度的方法及其裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210011030.3
• 申請日: 2012-01-16
• 公開（公告）號: CN103205703A
• 公開（公告）日: 2013-07-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 魏志凌;高小平;鄭慶靚;孫倩
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山允升吉光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種提高掩模板開口位置精度的方法，其特征在于，具體步驟包括：將掩模板固定在具有固定作用的基臺上；通過CCD掃描掩模板，讀取位于掩模板邊緣處并處于對角方向的兩個定位孔的相對坐標(biāo)（x、y）；通過坐標(biāo)（x、y）確定掩模板中心點o，并將其坐標(biāo)設(shè)定為（0、0），自動生成x、y坐標(biāo)軸；通過CCD掃描掩模板圖形區(qū)域開口，讀取各開口中心點相對于掩模板中心點的坐標(biāo)（x_n、y_n）；將坐標(biāo)（x_n、y_n）與蒸鍍圖形像素對比，若坐標(biāo)值偏差超出±5μm，在基臺的固定裝置上施加水平方面上的拉力，使開口的位置偏差控制在±5μm。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高掩模板開口位置精度的方法，其特征在于，將所述掩模板固定在基臺的固定裝置上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的提高掩模板開口位置精度的方法，其特征在于，與所述固定裝置一體形成的拉動裝置，通過拉動動力源帶動彈性元件施加拉力，帶動拉動裝置沿著軌道產(chǎn)生微米級的位移。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的提高掩模板開口位置精度的方法，其特征在于，拉力的方向為x軸方向、y軸方向、與x軸夾角為45°方向或與x軸夾角為135°方向的任意組合。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的提高掩模板開口位置精度的方法，其特征在于，固定裝置為掛齒，拉動裝置為拉板，拉動動力源為電機(jī)。

6.一種提高掩模板開口位置精度的裝置，其特征在于，包括：基臺、拉動裝置、彈性元件、固定裝置和拉動動力源；其中，固定裝置和拉動裝置一體形成在基臺上，將掩模板固定在固定裝置上，拉動動力源提供拉動動力，通過彈性元件的力的傳導(dǎo)，帶動拉動裝置沿著軌道產(chǎn)生微米級的位移。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的提高掩模板開口位置精度的裝置，其特征在于，固定裝置為掛齒，拉動裝置為拉板，拉動動力源為電機(jī)。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的提高掩模板開口位置精度的裝置，其特征在于，所述拉板個數(shù)至少為8個，分別位于掩模板四邊及四角。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的提高掩模板開口位置精度的裝置，其特征在于，所述拉板在掩模板一邊的個數(shù)為3個。