[發(fā)明專利]多晶硅熱膨脹系數(shù)在線測試結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210005077.9
• 申請日: 2012-01-10
• 公開（公告）號: CN102608149A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李偉華;袁風(fēng)良;周再發(fā);蔣明霞;劉海韻
• 申請（專利權(quán)）人: 東南大學(xué)
• 主分類號: G01N25/16
• 分類號: G01N25/16
• 代理公司: 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種多晶硅熱膨脹系數(shù)在線測試結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括絕緣襯底（1）、上偏轉(zhuǎn)指針和下偏轉(zhuǎn)指針，該上偏轉(zhuǎn)指針和下偏轉(zhuǎn)指針用多晶硅制成，其中：

所述上偏轉(zhuǎn)指針包括第一驅(qū)動梁（2）、第一指針（3）、第一錨區(qū)（4）和第二錨區(qū)（5），且為一體設(shè)計(jì)，所述第一驅(qū)動梁（2）一端與該第一指針（3）垂直連接，另一端與第一錨區(qū)（4）連接，所述第一驅(qū)動梁（2）和第一指針（3）的連接部與所述第二錨區(qū)（5）連接，所述第一錨區(qū)（4）和第二錨區(qū)（5）上表面均設(shè)有金屬電極（10），并固定在絕緣襯底（1）上，所述第一驅(qū)動梁（2）和第一指針（3）與絕緣襯底（1）存在間隙，處于懸空狀態(tài)；

所述下偏轉(zhuǎn)指針包括第二驅(qū)動梁（6）、第二指針（7）、第三錨區(qū)（8）和第四錨區(qū)（9），且為一體設(shè)計(jì)，所述第二驅(qū)動梁（6）一端與該第二指針（7）垂直連接，另一端與第三錨區(qū)（8）連接，所述第二驅(qū)動梁（6）和第二指針（7）的連接部與所述第四錨區(qū)（9）連接，所述第三錨區(qū)（8）和第四錨區(qū)（9）上表面均設(shè)有金屬電極（10），并固定在絕緣襯底（1）上，其中所述第四錨區(qū)（9）上的金屬電極（10）延伸至所述第二驅(qū)動梁（6）上，所述第二驅(qū)動梁（6）和第二指針（7）與絕緣襯底（1）存在間隙，處于懸空狀態(tài)；

所述下偏轉(zhuǎn)指針中的第一指針（3）與上偏轉(zhuǎn)指針中的第二指針（7）錯位相對，并有部分重疊，該重疊部分有錯位距離。