[其他]層疊裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201190000368.8
• 申請(qǐng)日: 2011-01-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203157142U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-08-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 市川道春;中村真規(guī)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日清紡精密機(jī)器株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B29C65/02
• 分類號(hào): B29C65/02;H01L31/042;B29L9/00;B29L31/34
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 劉建

1.一種層疊裝置，具有通過(guò)按壓部件分隔開(kāi)的上腔室及下腔室，被加工物承載于下腔室中設(shè)置的熱板上，通過(guò)所述熱板加熱的所述被加工物在使所述下腔室成為真空并向所述上腔室導(dǎo)入空氣后被所述熱板及所述按壓部件夾壓、層疊，其特征在于：?

所述熱板內(nèi)設(shè)置有多組加熱器或設(shè)置有多組成對(duì)的加熱器及加熱管；每組或每多組加熱器及加熱管，設(shè)置有一個(gè)以上的溫度傳感器，分別對(duì)多個(gè)加熱器進(jìn)行溫度控制。?

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的層疊裝置，其特征在于：所述熱板的各組加熱管及加熱器呈直線狀且平行配置。?

3.一種層疊裝置，具有通過(guò)按壓部件分隔開(kāi)的上腔室及下腔室，被加工物承載于下腔室中設(shè)置的熱板上，通過(guò)所述熱板加熱的所述被加工物在使所述下腔室成為真空并向所述上腔室導(dǎo)入空氣后被所述熱板及所述按壓部件夾壓、層疊，其特征在于：?

所述熱板由對(duì)所述被加工物的周圍部進(jìn)行加熱的周圍加熱部、以及對(duì)比所述被加工物的周圍部更靠?jī)?nèi)側(cè)的內(nèi)側(cè)進(jìn)行加熱的內(nèi)側(cè)加熱部所構(gòu)成；?

所述周圍加熱部及所述內(nèi)側(cè)加熱部設(shè)置有多組加熱器或設(shè)置有多組成對(duì)的加熱器及加熱管，?

每組或每多組所述加熱器、或每組或每多組加熱器及加熱管，設(shè)置有一個(gè)以上的溫度傳感器，分別對(duì)多個(gè)加熱器進(jìn)行溫度控制。?

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的層疊裝置，其特征在于：所述周圍加熱部及所述內(nèi)側(cè)加熱部的各組加熱管及加熱器呈直線狀且平行配置。?

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的層疊裝置，其特征在于：所述熱板分別由獨(dú)立的周圍熱板及內(nèi)側(cè)熱板構(gòu)成，所述周圍熱板對(duì)應(yīng)所述周圍加熱部，所述內(nèi)側(cè)熱板對(duì)應(yīng)所述內(nèi)側(cè)加熱部。?

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的層疊裝置，其特征在于：對(duì)應(yīng)所述周圍加熱部的周圍熱板由分別配置于所述周圍加熱部中所述被加工物各邊的獨(dú)立個(gè)體構(gòu)成。?

7.一種層疊裝置，具有通過(guò)按壓部件分隔開(kāi)的上腔室及下腔室，被加工物承載于下腔室中設(shè)置的熱板上，通過(guò)所述熱板加熱的所述被加工物在使所述下腔室成為真空并向所述上腔室導(dǎo)入空氣后被所述熱板及所述按壓部件夾壓、層疊，其特征在于：?

所述熱板由對(duì)所述被加工物的周圍部進(jìn)行加熱的周圍加熱部，以及對(duì)比所述被加工物的周圍部更靠?jī)?nèi)側(cè)的內(nèi)側(cè)進(jìn)行加熱的內(nèi)側(cè)加熱部所構(gòu)成；?

所述周圍加熱部設(shè)置有多個(gè)加熱器，每個(gè)加熱器或每多個(gè)加熱器設(shè)置有一個(gè)以上的溫度傳感器；?

所述內(nèi)側(cè)加熱部設(shè)置有多組加熱器或多組成對(duì)的加熱器及加熱管，每組或每多組加熱器、或每組或每多組加熱器及加熱管，設(shè)置有一個(gè)以上的溫度傳感器，?

分別對(duì)多個(gè)加熱器進(jìn)行溫度控制。?

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的層疊裝置，其特征在于：所述周圍加熱部的多個(gè)加熱器呈直線狀且平行配置；所述內(nèi)側(cè)加熱部的各組加熱管及加熱器呈直線狀且平行配置。?

9.根據(jù)權(quán)利要求2至8中任一項(xiàng)所述的層疊裝置，其特征在于：所述熱板中，與所述周圍加熱部相對(duì)應(yīng)的周圍熱板和與所述內(nèi)側(cè)加熱部相對(duì)應(yīng)的內(nèi)側(cè)熱板通過(guò)承載被加工物的承載板相連接。?

10.一種層疊裝置，具有通過(guò)按壓部件分隔開(kāi)的上腔室及下腔室，被加工物承載于下腔室中設(shè)置的熱板上，通過(guò)所述熱板加熱的所述被加工物在使所述下腔室成為真空并向所述上腔室導(dǎo)入空氣后被所述熱板及所述按壓部件夾壓、層疊，其特征在于：?

所述熱板為上段熱板及下段熱板的積層構(gòu)造；?

所述上段熱板內(nèi)設(shè)置有多組加熱器或設(shè)置有多組成對(duì)的加熱器及加熱管；?

所述上段熱板中的每組或每多組加熱器、或每組或每多組加熱器及加熱管，設(shè)置有一個(gè)以上的溫度傳感器；?

所述下段熱板內(nèi)設(shè)置有多組加熱器或多組成對(duì)的加熱器及加熱管，其與所述上段熱板中設(shè)置的加熱器及加熱管呈直角方向，?

所述下段熱板中的每組或每多組加熱器、或每組或每多組加熱器及加熱管，設(shè)置有一個(gè)以上的溫度傳感器，?

分別對(duì)所述上段熱板內(nèi)及所述下段熱板內(nèi)的多個(gè)加熱器進(jìn)行溫度控制。?