[發(fā)明專利]模具和模具的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201180020797.6
• 申請日: 2011-04-01
• 公開（公告）號: CN102859048A
• 公開（公告）日: 2013-01-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 石動彰信;箕浦潔;林秀和;中松健一郎
• 申請（專利權(quán)）人: 夏普株式會社
• 主分類號: C25D11/24
• 分類號: C25D11/24;B29C33/38;C25D11/04;C25D11/12;G02B1/11
• 代理公司: 北京市隆安律師事務(wù)所 11323
• 代理人: 權(quán)鮮枝

1.一種模具的制造方法，

上述模具在表面具有反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)，上述反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)具有從表面的法線方向看時的2維大小是10nm以上且不到500nm的多個凹部，

上述模具的制造方法包含：

工序(a)，準備模具基材，上述模具基材具有：基材；無機基底層，其形成在上述基材上；緩沖層，其形成在上述無機基底層上；以及鋁層，其形成在上述緩沖層上；

工序(b)，對上述鋁層部分地進行陽極氧化，由此形成多孔氧化鋁層，上述多孔氧化鋁層具有規(guī)定多個微細的凹部的多孔層和設(shè)置在上述多個微細的凹部各自的底部的阻擋層；以及

工序(c)，在上述工序(b)后，通過使上述多孔氧化鋁層與蝕刻液接觸來進行蝕刻，使上述多孔氧化鋁層的上述多個微細的凹部擴大，

在上述工序(c)中，以上述多個微細的凹部的平均深度增加但不超過進行上述蝕刻前的上述阻擋層的平均厚度的1/7的方式進行上述蝕刻。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的模具的制造方法，

在上述工序(c)中進行上述蝕刻前的上述阻擋層的平均厚度是5nm以上且250nm以下。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的模具的制造方法，

在上述工序(c)中進行上述蝕刻前的上述阻擋層的平均厚度是5nm以上且180nm以下。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的模具的制造方法，

在上述工序(c)中進行上述蝕刻前的上述阻擋層的平均厚度是85nm以上且95nm以下。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的模具的制造方法，

上述工序(c)中的上述平均深度的增加量是5nm以上且12nm以下。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中的任一項所述的模具的制造方法，

還包含工序(d)：在上述工序(c)后，通過進一步進行陽極氧化來使上述多個微細的凹部生長。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中的任一項所述的模具的制造方法，

在上述工序(c)中，將磷酸水溶液用作上述蝕刻液。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中的任一項所述的模具的制造方法，

在上述工序(a)中，上述緩沖層包含氧化鋁層。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的模具的制造方法，

通過在氧氣氛下濺射鋁來形成上述氧化鋁層。

10.一種模具，

其是利用權(quán)利要求1至9中的任一項所述的制造方法制造的模具，

上述多孔氧化鋁層在表面具有上述反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)。

11.一種防反射膜，

其是使用權(quán)利要求10所述的模具制作的防反射膜，具有設(shè)有蛾眼結(jié)構(gòu)的表面。