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[發(fā)明專利]將組織化粒子層沉積于基片上的方法無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201180010696.0 申請日: 2011-01-28
公開(公告)號: CN102770218A 公開(公告)日: 2012-11-07
發(fā)明(設(shè)計)人: Z·特比;O·德莉 申請(專利權(quán))人: 原子能與替代能源委員會
主分類號: B05D1/18 分類號: B05D1/18
代理公司: 上海一平知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31266 代理人: 崔佳佳;祝蓮君
地址: 法國*** 國省代碼: 法國;FR
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 組織 粒子 沉積 基片上 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種將組織化單層形式的粒子沉積于基片上的沉積方法,其特征在于,包括步驟:

-對含有至少所述粒子和至少50體積%乙醇形成的溶劑混合物的漿液進行受控攪拌;

-將基片浸入所述攪拌的漿液;

-將所述的基片從所述漿液中取出。

2.如權(quán)利要求1所述的沉積方法,其特征在于,所述粒徑大于100nm,更佳地,其尺寸范圍為500nm-2.6μm。

3.如權(quán)利要求1或2所述的沉積方法,其特征在于,所述漿液的攪拌由泵驅(qū)動流體循環(huán)提供。

4.如權(quán)利要求1或2所述的沉積方法,其特征在于,由磁力攪拌器攪拌所述漿液。

5.如以上任一權(quán)利要求所述的沉積方法,其特征在于,所述溶劑混合物由兩種溶劑組成,第二溶劑選自水或丁醇。

6.如權(quán)利要求5所述的沉積方法,其特征在于,乙醇與所述第二溶劑的體積比等于4/1。

7.如以上任一權(quán)利要求所述的沉積方法,其特征在于,所述粒子為球形和單分散形式。

8.如以上任一權(quán)利要求所述的沉積方法,其特征在于,所述粒子為硅微球或球體。

9.如以上任一權(quán)利要求所述的沉積方法,其特征在于,所述基片由玻璃或DLC(金剛石樣碳)制成。

10.如以上任一權(quán)利要求所述的沉積方法,其特征在于,所述基片的表面積范圍為5cm2-1m2

11.如以上任一權(quán)利要求所述的方法,其特征在于,所述漿液中粒子的濃度范圍為50g/l-500g/l。

12.如以上任一權(quán)利要求所述的方法,其特征在于,所述基片的取出速度為2cm/min-50cm/min。

13.如以上任一權(quán)利要求所述的方法,其特征在于,所述漿液還包含表面活性劑。

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1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

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