[實(shí)用新型]氦氣純度分析儀

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120484842.0
• 申請(qǐng)日: 2011-11-30
• 公開（公告）號(hào): CN202393773U
• 公開（公告）日: 2012-08-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王茂祥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 常州愛特科技有限公司
• 主分類號(hào): G01N35/00
• 分類號(hào): G01N35/00
• 代理公司: 常州市夏成專利事務(wù)所(普通合伙) 32233
• 代理人: 沈毅

1.一種氦氣純度分析儀，包括進(jìn)氣口(1)、流量調(diào)節(jié)閥(2)、純度傳感器(3)和出氣口(4)，進(jìn)氣管路（6）的出口端設(shè)有進(jìn)氣口(1)，中間端設(shè)有流量調(diào)節(jié)閥(2)，末端設(shè)有出氣口(4)，純度傳感器（3）置于出氣口（4）上方，其特征是，所述純度傳感器（3）為熱導(dǎo)池檢測(cè)器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氦氣純度分析儀，其特征是，所述流量調(diào)節(jié)閥（2）與純度傳感器（3）之間設(shè)有流量感應(yīng)器（5）。?