[實用新型]一種納米氧化物粉體的制造裝置

有效

• 申請號: 201120476582.2
• 申請日: 2011-11-25
• 公開（公告）號: CN202359194U
• 公開（公告）日: 2012-08-01
• 發明（設計）人: 胡晞
• 申請（專利權）人: 蘇州華微特粉體技術有限公司;胡晞
• 主分類號: C23C16/40
• 分類號: C23C16/40
• 代理公司: 北京海虹嘉誠知識產權代理有限公司 11129
• 代理人: 吳小燦

1.一種納米氧化物粉體的制造裝置，其特征在于，包括依次連接的雙層套筒式熔池、反應器和分離器，雙層套筒式熔池的內筒連接輸送加熱融化的熔融單質物質的導管，輸送鹵族氣體的導管連接在雙層套筒式熔池的內筒底部，輸送不參與反應的調整鹵化物濃度的氣體導管連接在雙層套筒式熔池的內筒頂部，雙層套筒式熔池的外筒連接輸送水蒸汽的導管；所述反應器具有連接所述外筒的水蒸汽入口以及連接所述內筒的氣態鹵化物和調整鹵化物濃度的氣體入口；分離器上具有固體氧化物粉體的收集口以及氣體排出口。

2.根據權利要求1所述的納米氧化物粉體的制造裝置，其特征在于，在反應器和分離器的接口附近具有導入不參與反應的其他氣體的導管。

3.根據權利要求1或2所述的納米氧化物粉體的制造裝置，其特征在于，所述雙層套筒式熔池的內筒選擇與所述熔融單質物質的物理與化學性質相適配的材料制備。

4.根據權利要求1或2所述的納米氧化物粉體的制造裝置，其特征在于，所述輸送鹵族氣體的導管采用耐鹵族氣體腐蝕的材料制備。

5.根據權利要求4所述的納米氧化物粉體的制造裝置，其特征在于，所述輸送鹵族氣體的導管采用陶瓷類材料制備。