[實用新型]一種熱陰極電離真空規管

有效

• 申請號: 201120433320.8
• 申請日: 2011-11-04
• 公開（公告）號: CN202282325U
• 公開（公告）日: 2012-06-20
• 發明（設計）人: 何居貴;賴壽培;朱元加
• 申請（專利權）人: 成都睿寶電子科技有限公司
• 主分類號: H01J41/04
• 分類號: H01J41/04
• 代理公司: 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220
• 代理人: 譚新民

技術領域

本實用新型涉及一種真空規管，具體是指一種熱陰極電離真空規管。

背景技術

真空規管就是測量真空度的傳感器。真空規管測量出來的信號傳輸到真空計上經過放大處理就可以顯示出被測真空環境的真空度，主要應用于真空環境的真空度測量領域，如真空鍍膜，太陽能集熱管制作，真空冶煉等。熱陰極電離真空規管是一種應用非常廣泛的真空規管，其測量范圍跨越了低真空、中真空、高真空的真空區域，得到用戶的廣泛歡迎。

但是傳統的熱陰極電離真空規管在使用過程中存在一個明顯的缺陷，就是在測量過程中真空度的滯后現象。用戶在使用過程中總覺得真空度上升慢，尤其是在10^-3Pa以后尤其明顯，其真實數據和實際測得數據之間差距常常達到半個數量級甚至更高。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種熱陰極電離真空規管，在不改變靈敏度的同時，解決真空規管的測量滯后問題。

本實用新型的目的通過下述技術方案實現：

一種熱陰極電離真空規管，包括空腔結構的玻璃管，玻璃管的一端連接有管座，另一端為與被測空腔連接的測試接口，在玻璃管內具有隔離層，在管座內設置有三個管腳，其中兩個為燈絲引出線，另外一個為加速極引線，所述兩個燈絲引出線以及加速極引線均穿過隔離層并延伸至玻璃管空腔內，在隔離層內還固定有支撐柱，在支撐柱上連接有收集極，收集極折疊后形成兩個平行的收集面，在兩個燈絲引出線之間連接有燈絲，所述加速極引線的末端位于收集極的兩個收集面之間，所述的收集極與安裝在玻璃管上的收集接口連接，所述的收集極上設置有呈網格狀分布的通孔。由于目前真空規管全部采用不銹鋼材料制成，其離子接收面積大，每片的面積為15×20mm，不銹鋼本身的吸放氣量較鎳材料的吸放氣量大，并且，盒式結構的真空規管在加工排氣等工藝中難以除氣徹底，這些吸附在收集極上的氣體在抽真空的過程中會慢慢釋放出來，影響真空度的上升，造成了滯后。為此，在收集極上設置有呈網格狀分布的通孔，將傳統的片狀收集極改為網格狀收集極，每片的面積減少為傳統收集極面積的40%左右，大大減少了材料的吸放氣量，同時，在真空規管的加工過程中對收集極的除氣也容易得多，減少了材料的吸放氣量對真空度滯后的影響，同時，其靈敏度所依賴的覆蓋面積并未減少，不影響其靈敏度。使用時，將管座連接在電源上，將測試接口插接在被測容器上，使得被測的空腔與玻璃管內的空腔連通，收集極處于被測容器的真空環境內，將收集接口與處理系統連接即可。

所述的通孔為矩形，其邊長為0.2mm至0.6mm。作為本實用新型的進一步改進，網格狀分布的通孔面積不能太大，超過一定的范圍后，接收的靈敏度將會受到影響，面積太小又不能達到盡量減少吸放氣量的目的，因此，通孔的規格應當在0.2mm至0.6mm之間。

在所述的隔離層內固定有?“L”形支柱，“L”形支柱與其中一個燈絲引出線連接，所述燈絲連接在燈絲引出線與“L”形支柱的短臂之間。進一步講，為了保持燈絲處于張緊狀態，在隔離層上固定有一個“L”形支柱，“L”形支柱的底部與燈絲引出線連接，“L”形支柱的上部為短臂部分，在短臂部分連接有燈絲，燈絲穿過收集極的兩個收集面之間的空間后連接在燈絲引出線上。

本實用新型與現有技術相比，具有如下的優點和有益效果：

本實用新型一種熱陰極電離真空規管，在收集極上設置有呈網格狀分布的通孔，將傳統的片狀收集極改為網格狀收集極，每片的面積減少為傳統收集極面積的40%左右，大大減少了材料的吸放氣量，同時，在真空規管的加工過程中對收集極的除氣也容易得多，減少了材料的吸放氣量對真空度滯后的影響，同時，其靈敏度所依賴的覆蓋面積并未減少，不影響其靈敏度。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖。

附圖中標記及相應的零部件名稱：

1-玻璃管，2-管座，3-測試接口，4-隔離層，5-燈絲引出線，7-加速極引線，8-支撐柱，9-收集極，10-燈絲，11-收集接口，12-通孔，13-“L”形支柱。

具體實施方式

下面結合實施例對本實用新型作進一步的詳細說明，但本實用新型的實施方式不限于此。

實施例