[實用新型]一種基于MEMS技術的汽車機油壓力傳感器

有效

• 申請號: 201120394019.0
• 申請日: 2011-10-17
• 公開（公告）號: CN202420750U
• 公開（公告）日: 2012-09-05
• 發明（設計）人: 趙山華;韓明俊;王建軍;趙玉龍;倪興平
• 申請（專利權）人: 江蘇奧力威傳感高科股份有限公司
• 主分類號: G01L9/06
• 分類號: G01L9/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于MEMS技術的汽車機油壓力傳感器，包括一結構殼體(1)，其特征在于，結構殼體(1)的內部安裝有位于中間件(2)上的帶有敏感元件、轉接板(6)及密封圈(4)的中間敏感結構單元，中間敏感結構單元內配置有集成封裝在玻璃硅杯上的硅隔離固態壓阻式芯片(3)，金絲(5)的一端與硅隔離固態壓阻式芯片(3)相連，金絲(5)的另一端與轉接板(6)相連，導線(7)將轉接板(9)相連，導線(10)同轉接板(9)焊接連接，結構殼體(1)的鎖緊結構(11)鎖緊殼體，中間件(2)與結構殼體(1)通過密封圈(4)實現密封。

2.根據權利要求1所述一種基于MEMS技術的汽車機油壓力傳感器，其特征在于，所述硅隔離固態壓阻式芯片(3)由四個電阻R1、R3、R2和R4組成惠斯登測量電橋，電阻R1、R3、R2和R4分別通過引線組成的壓焊點(12)、壓焊點(13)、壓焊點(14)、壓焊點(15)、壓焊點(16)連接起來。

3.根據權利要求1所述一種基于MEMS技術的汽車機油壓力傳感器，其特征在于，采用中間件(2)，并且所述中間件(2)由硅隔離固態壓阻式芯片(3)、轉接板(6)、導線(7)及密封件(4)組成。

4.根據權利要求1所述一種基于MEMS技術的汽車機油壓力傳感器，其特征在于，所述轉接板(6)轉接硅隔離固態壓阻式芯片(3)與外引線的電氣元件連接。

5.根據權利要求1所述一種基于MEMS技術的汽車機油壓力傳感器，其特征在于，所述結構殼體(1)及中間件(2)為不銹鋼元件。?