[實用新型]用于LED產業設備蝕刻的承載治具

有效

• 申請號: 201120364541.4
• 申請日: 2011-09-27
• 公開（公告）號: CN202275864U
• 公開（公告）日: 2012-06-13
• 發明（設計）人: 彭文星
• 申請（專利權）人: 鑫濂科技有限公司
• 主分類號: H01L33/00
• 分類號: H01L33/00;H01L21/687
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨;雷電

技術領域

本實用新型為一種用于LED產業設備蝕刻的承載治具，尤指一種該承載座設有至少一第一凹槽，又該承載座設有一治具，且該治具設有至少一第二凹槽，再該治具設有至少三個第二凸部，俾使該治具可放置于承載座中，俾以達到可增加被加工件的容置空間的功效，進而提升加工產量的目的。

背景技術

一般承載治具，請參閱圖1、2所示，其承載座1設有一凹槽12，該承載座1設有連接部15，又該承載座1設有一匣體13，再該匣體13設有限位部131，該限位部131可與凹槽12相抵止，又該匣體13可設有加工件14，如藍寶石晶片，而如圖2所示；

該「承載治具」其雖可利用該承載座1其連接部15與該機臺2其X、Y、Z軸位移裝置21的延伸柱22相連接后，使得該承載座1可于機臺2中作業，由X、Y、Z軸位移裝置21的Y軸可前后移動該承載座1于蝕刻槽23及清洗槽24間，再由X、Y、Z軸位移裝置21的Z軸可上下移動該承載座1于蝕刻槽23中上下晃動，將加工件14表面不需要的化學表層去除，以免回沾加工件14本身，去除化學表層后，再移動至清洗槽24中清洗，然卻該「承載治具」其承載座1只設有一凹槽12，又該凹槽12只可容設一匣體13及加工件14，使得因該承載座1同一時間內、同一延伸柱22能夠放置的匣體13及加工件14的數量有限，造成加工生產的產量一直無法提升。

因此，如何將上述等缺失加以摒除，即為本案創作人所欲解決的技術困難點的所在。

發明內容

有鑒于現有的「承載治具」，其雖可利用該承載座其連接部，與該機臺其X、Y、Z軸位移裝置的延伸柱相連接后，使該承載座可于機臺中作業，由X、Y、Z軸位移裝置的Y軸可前后移動該承載座于蝕刻槽及清洗槽間，再由X、Y、Z軸位移裝置的Z軸可上下移動該承載座于蝕刻槽中上下晃動，將加工件表面不需要的化學表層去除，以免回沾加工件本身，去除化學表層后，再移動至清洗槽中清洗，然卻該「承載治具」其只設有一凹槽，又該凹槽只可容設一匣體及加工件，使得因該承載座同一時間內、同一延伸柱能夠放置的匣體及加工件的數量有限，造成加工生產的產量一直無法提升。

因此本實用新型的目的在于提供一種用于LED產業設備蝕刻的承載治具，其可使該承載座設有至少一第一凹槽，又該承載座設有一治具，且該治具設有至少一第二凹槽，再該治具設有至少三個第二凸部，俾使該治具可放置于承載座中，俾以達到可增加被加工件的容置空間的功效，進而提升加工產量的目的。

為達成以上的目的，本實用新型提供一種用于LED產業設備蝕刻的承載治具，其包含：

一承載座，該承載座設有至少一第一凹槽，又該承載座設有底板，該承載座設有至少一第一匣體；

一治具，該治具設有至少一第二凹槽，又該治具設有至少三個第二凸部，該第二凸部與該承載座其底板可相靠合，再該治具設有至少一第二匣體，該第二匣體可放置于治具其第二凹槽中；

一種用于LED產業設備蝕刻的承載治具，包含：一承載座，該承載座設有至少一第一凹槽；一治具，該治具設有至少一第二凹槽，又該治具設有至少三個第二凸部，且該第二凸部與承載座相靠合。

一種用于LED產業設備蝕刻的承載治具，包含：一承載座，該承載座設有至少一第一凹槽，又該承載座設有至少三個第一凸部，該第一凸部設有被連結部；一治具，該治具設有至少一第二凹槽，又該治具設有連結部，該連結部與被連結部相連結。

本實用新型由該承載座設有至少一第一凹槽，又該承載座設有一治具，且該治具設有至少一第二凹槽，再該治具設有至少三個第二凸部，俾使該治具可放置于承載座中，俾以達到可增加被加工件的容置空間的功效，進而提升加工產量的目的。

附圖說明

圖1為常用的機臺作業立體示意圖。

圖2為常用的側視示意圖。

圖3為本實用新型的立體分解示意圖。

圖4為本實用新型的立體組合示意圖。

圖5為本實用新型的側視組合示意圖。

圖6為本實用新型的被加工件放置側視示意圖。

圖7為本實用新型的第二實施例分解示意圖。

附圖標記說明