[實用新型]掩膜板包裝盒

有效

• 申請號: 201120363211.3
• 申請日: 2011-09-26
• 公開（公告）號: CN202244461U
• 公開（公告）日: 2012-05-30
• 發明（設計）人: 王玲杰;郭建;史大為;王德帥;沈奇雨
• 申請（專利權）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: B65D25/10
• 分類號: B65D25/10;B65D85/30
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

技術領域

本實用新型涉及一種掩膜板包裝盒。

背景技術

在微電子等需要使用光刻圖形工藝的領域中，掩膜板是不可缺少的工具。在整個的產品加工過程中需要使用至少一塊掩膜板，很多情況下全部流程中需要使用多塊掩膜板。而且不同的產品所使用的掩膜板基本不同，因此需要隨著產品的變換而更換掩膜板。因此，除了正在使用的掩膜板，其他的掩膜板均需要收納、存放。

現有掩膜板的收納、存放結構主要為掩膜板包裝盒。如圖1所示，收納時，掩膜板1豎直放入盒體中，蓋上盒蓋。使用時，工作人員需要手捏掩膜板1邊緣處抬起、取出。

發明人發現現有掩膜板包裝盒開口小，垂直方向地取出和收納掩膜板易造成掩膜板的損傷。尤其是當掩膜板的面積比較大時，這種垂直地提起或放下的動作容易造成包裝盒內壁或邊緣與掩膜板表面的碰撞、摩擦，造成掩膜板表面膜層的劃傷。

實用新型內容

為了克服上述的缺陷，本實用新型提供一種方便掩膜板取放的掩膜板包裝盒。

為達到上述目的，本實用新型掩膜板包裝盒包括相適配的盒蓋和盒體，所述盒體內設置至少三個掩膜板支撐部，所述三個支撐部能共同支撐掩膜板。

特別是，所述盒體內還設置有限位部，所述限位部位于所述支撐部和所述盒體側壁之間。

特別是，所述限位部和所述支撐部形成L形結構。

特別是，所述盒體內設有至少一個固定用凹部；所述盒蓋內對應所述凹部的位置設有凸塊；所述凸塊與所述凹部相適配。

特別是，所述盒體外側底部邊緣設有凸出部，所述凸出部圍成容置空間，所述容置空間面積不小于所述盒蓋的面積。

本實用新型掩膜板包裝盒內部設有支撐部，掩膜板取出或收納時均為水平狀態，掩膜板邊緣處空間開闊，方便于工作人員用手或設備抓握、夾持掩膜板，避免掩膜板及其表面膜層的損傷。本實用新型掩膜板包裝盒外側為盒體，有利于保證掩膜板的潔凈。

附圖說明

圖1為現有包裝盒結構示意圖。

圖2為本實用新型盒體優選實施例俯視圖。

圖3為本實用新型盒蓋優選實施例結構示意圖。

圖4為本實用新型掩膜板包裝盒使用狀態結構示意圖之一。

圖5為本實用新型掩膜板包裝盒使用狀態結構示意圖之二。

具體實施方式

下面結合說明書附圖和實施例對本實用新型做詳細描述。

本實用新型掩膜板包裝盒包括相適配的盒蓋和盒體，盒體內設置至少三個掩膜板支撐部，三個支撐部能共同支撐掩膜板。為了更好地固定掩膜板，盒體內還設置有限位部。限位部可以位于支撐部和盒體側壁之間，即限位部和支撐部形成L形結構，如圖4所示；限位部也可以位于支撐部上，即限位部和支撐部形成倒T形結構，如圖5所示。

為了更好地固定掩膜板，支撐部優選設置在一個平面上，該平面的面積應該大于所用掩膜板的面積。因為掩膜板基本上均為矩形，所以優選使用四個或八個支撐部，均勻、對稱地設置在一矩形底面上。支撐部圍成與掩膜板面積基本相同的矩形區域，限位部位于支撐部所圍成矩形區域的外側。支撐部的高度相同為優選結構；限位部的高度無特殊要求，但是為了包裝盒使用的方便以及盒蓋與盒體的扣接，限位部優選設置成為相同的高度。而且，限位部頂面和支撐部頂面之間的高度差等于或者略大于掩膜板的厚度即可。

掩膜板的邊緣放置在支撐部上，支撐部的寬度根據具體掩膜板而定，以穩定支撐掩膜板且不劃傷掩膜板表面膜層為標準。掩膜板的邊緣靠近限位部的側面，有效地限定了掩膜板的位置，防止掩膜板因包裝盒的晃動而不穩定。

本實用新型掩膜板包裝盒的內部面積大，掩膜板的邊緣位置除了支撐部和限位部之外沒有其他的物體，方便于工作人員用手或設備抓握、夾持掩膜板，避免掩膜板及其表面膜層與包裝盒碰撞或摩擦而造成損傷。

如圖2～圖5所示，為了使掩膜板1的保存環境保持潔凈、干燥，可以將本實用新型掩膜板包裝盒的外側設計成相適配的盒體10與盒蓋20。掩膜板1平放在支撐部11上，盒蓋20扣接盒體10，相對密封的盒內為收納掩膜板1提供了理想的環境。

掩膜板1邊緣與盒體10的內側壁之間留有較大的間隙，可以容納工作人員的手指伸入或者設備夾具的伸入，方便工作人員取出或者收納掩膜板1。這樣的取放方式避免了掩膜板1和盒體10發生碰撞或摩擦，不易造成掩膜板1的損傷，尤其是可以保護掩膜板1的表面膜層。