[實(shí)用新型]一種光罩檢測(cè)設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120346140.6
• 申請(qǐng)日: 2011-09-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202230031U
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-05-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 杜武兵;林偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市路維電子有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/88
• 分類號(hào): G01N21/88
• 代理公司: 深圳市維邦知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 44269
• 代理人: 王昌花

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及光罩檢測(cè)領(lǐng)域，尤其涉及一種光罩檢測(cè)設(shè)備。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體及液晶顯示器行業(yè)的技術(shù)發(fā)展，光罩已成為集成電路（Integrated?Circuit，IC）、薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管（Thin?Film?Transistor，TFT）、高密度互連（High?Density?Interconnector，HDI）制造中的重要器具。隨著產(chǎn)品的需求增加，光罩應(yīng)用將越來(lái)越廣泛，其精度等各項(xiàng)性能指標(biāo)的要求也越來(lái)越高。特別是在半導(dǎo)體制方面，精度從微米提升到納米級(jí)別，使得對(duì)光罩制作的品質(zhì)要求也越來(lái)越重要，精度的提升直接產(chǎn)生的就是光罩線寬縮小，而因此，光罩的檢查面臨更嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)。

現(xiàn)有技術(shù)提供了一種光罩檢測(cè)設(shè)備，其利用移動(dòng)平臺(tái)對(duì)光罩進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，由于平臺(tái)結(jié)構(gòu)及尺寸無(wú)法滿足大尺寸光罩的檢測(cè)，一般只能檢測(cè)到光罩70%的區(qū)域，邊緣區(qū)域無(wú)法檢測(cè)。為了對(duì)邊緣區(qū)域進(jìn)行檢測(cè)，需要人工將光罩進(jìn)行旋轉(zhuǎn)后才能進(jìn)行，在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中光罩易產(chǎn)生刮傷，并且光罩與設(shè)備發(fā)生摩擦與碰撞易導(dǎo)致光罩報(bào)廢。另外，光罩檢測(cè)設(shè)備在進(jìn)行大尺寸光罩檢測(cè)后，需要重新記錄兩個(gè)坐標(biāo)原點(diǎn)及其對(duì)應(yīng)坐標(biāo)系統(tǒng)，這樣在剛發(fā)現(xiàn)缺陷時(shí)，十分容易由于缺陷坐標(biāo)亂導(dǎo)致缺陷漏檢的現(xiàn)象，增加了出貨品質(zhì)的風(fēng)險(xiǎn)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型實(shí)施例所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于，提供一種光罩檢測(cè)設(shè)備，以快速準(zhǔn)確地對(duì)整個(gè)光罩進(jìn)行檢測(cè)。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型實(shí)施例提出了一種光罩檢測(cè)設(shè)備，包括支架臺(tái)、設(shè)置于該支架臺(tái)臺(tái)面上的以承載并在水平方向移動(dòng)光罩的移動(dòng)平臺(tái)，以及控制所述移動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)的控制裝置，所述光罩檢測(cè)設(shè)備還包括：架設(shè)于所述支架臺(tái)上方的支撐臂、通過(guò)該支撐臂固定于所述移動(dòng)平臺(tái)中部上方且光學(xué)物鏡分設(shè)于該支撐臂兩側(cè)的雙顯微鏡機(jī)構(gòu)，以及與該雙顯微鏡機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)設(shè)置的光源。

進(jìn)一步地，所述支架臺(tái)的底部設(shè)置有口型防震支腳，所述支撐臂通過(guò)側(cè)邊支架與所述支架臺(tái)相固定，并且所述支撐臂與側(cè)邊支架形成口型防震支架。

進(jìn)一步地，所述移動(dòng)平臺(tái)包括設(shè)置于所述支架臺(tái)臺(tái)面上的橫向平臺(tái)、活動(dòng)設(shè)置于該橫向平臺(tái)上的縱向平臺(tái)，以及活動(dòng)設(shè)置于該縱向平臺(tái)上的操作平臺(tái)。

進(jìn)一步地，所述操作平臺(tái)為透光體，所述光源設(shè)置于該透光體對(duì)應(yīng)雙顯微鏡機(jī)構(gòu)的下方。

進(jìn)一步地，所述橫向平臺(tái)上設(shè)置有橫向移動(dòng)導(dǎo)軌，該橫向移動(dòng)導(dǎo)軌上滑設(shè)有橫向移動(dòng)滑塊，所述縱向平臺(tái)固設(shè)于該橫向移動(dòng)滑塊上，所述橫向移動(dòng)滑塊通過(guò)第一絲桿連接到一橫向驅(qū)動(dòng)電機(jī)；所述縱向平臺(tái)上設(shè)置有縱向移動(dòng)導(dǎo)軌，該縱向移動(dòng)導(dǎo)軌上滑設(shè)有縱向移動(dòng)滑塊，所述操作平臺(tái)固設(shè)于該縱向移動(dòng)滑塊上，所述縱向移動(dòng)滑塊通過(guò)第二絲桿連接到一縱向驅(qū)動(dòng)電機(jī)。

進(jìn)一步地，所述控制裝置與所述橫向驅(qū)動(dòng)電機(jī)及縱向驅(qū)動(dòng)電機(jī)相連，所述控制裝置包括控制盒，以及設(shè)置于該控制盒上的搖桿及用于設(shè)置位移參數(shù)的觸摸屏。

進(jìn)一步地，所述支架臺(tái)由水平面支架及豎直面支架組合而成。

進(jìn)一步地，所述雙顯微鏡機(jī)構(gòu)包括5個(gè)不同倍率的光學(xué)物鏡單體。

本實(shí)用新型實(shí)施例通過(guò)提供一種光罩檢測(cè)設(shè)備，包括支架臺(tái)、設(shè)置于該支架臺(tái)臺(tái)面上的以承載并在水平方向移動(dòng)光罩的移動(dòng)平臺(tái)，以及控制所述移動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)的控制裝置，所述光罩檢測(cè)設(shè)備還包括：架設(shè)于所述支架臺(tái)上方的支撐臂、通過(guò)該支撐臂固定于所述移動(dòng)平臺(tái)中部上方且光學(xué)物鏡分設(shè)于該支撐臂兩側(cè)的雙顯微鏡機(jī)構(gòu)，以及與該雙顯微鏡機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)設(shè)置的光源，從而，雙顯微鏡機(jī)構(gòu)可同時(shí)進(jìn)行光罩兩側(cè)范圍的檢測(cè)，而不用對(duì)光罩進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，避免了光罩在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中的刮傷及報(bào)廢；另外可統(tǒng)一缺陷坐標(biāo)系統(tǒng)，保證了光罩缺陷的完全檢測(cè)及修復(fù)，保證了出貨品質(zhì)。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的光罩檢測(cè)設(shè)備的主視圖。

圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的光罩檢測(cè)設(shè)備的俯視圖。

圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例的光罩檢測(cè)設(shè)備的側(cè)視圖。

圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例的光罩檢測(cè)設(shè)備中控制裝置的結(jié)構(gòu)圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。