[實用新型]電極對接裝置

有效

• 申請號: 201120288056.3
• 申請日: 2011-08-09
• 公開（公告）號: CN202178437U
• 公開（公告）日: 2012-03-28
• 發明（設計）人: 朱旺平
• 申請（專利權）人: 北京飛行博達電子有限公司
• 主分類號: H01R13/04
• 分類號: H01R13/04;H01R13/10;H01R13/24;C23C16/44
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 韓國勝;王瑩

技術領域

本實用新型涉及等離子體增強化學氣相沉積技術，特別是涉及一種用于四管臥式等離子體增強化學氣相沉積的電極對接裝置。

背景技術

四管臥式等離子體增強化學氣相沉積(Plasma?Enhanced?Chemical?Vapor?Deposition，PECVD)設備的功能是，在高真空石英腔體內利用高頻電場激發，分解工藝氣體SiH₄、NH₃，在樣品表面的沉積形成Si₃N₄薄膜。淀積Si₃N₄時，同時生成了大量的氫原子，氫原子不但具有表面鈍化作用，同時可以鈍化硅中的位錯、表面懸掛鍵，從而提高硅片中載流子遷移率，具有體鈍化的作用，極大的提高電池片轉換效率。該設備自動化程度高，能夠滿足太陽能生產線需求。四管臥式PECVD電極頭結構裝置，是設備的關鍵部件之一，直接影響電池片穩定性和可靠性。

現有的電極頭結構裝置，由于電極頭比較細長，插座孔小，兩者之間配合精度比較高，運動過程中容易造成電極頭彎曲、接觸不良等現象，工藝一致性難以保證，電極頭經過多次工藝使用后，容易產生放電現象，需進行不定期更換，影響生產。

實用新型內容

(一)要解決的技術問題

本實用新型要解決的技術問題是如何簡化電接頭與插座孔之間的對接操作，實現良性接觸，并能夠延長電極頭的使用壽命。

(二)技術方案

為了解決上述技術問題，本實用新型提供一種電極對接裝置，包括電極插頭和插座，所述電極插頭和插座通過球面適配連接。

其中，所述電極插頭前端部為凸出的球形部，所述插座與電極插頭相接觸的端面為與球形部相適配的凹面。

其中，所述電極插頭后端部連接有彈性支撐模塊，將電極插頭壓入插座的凹面內。

其中，所述彈性支撐模塊包括：鎖緊套管，其一端設置開口，內部設置有預緊壓簧；所述電極插頭后端部設置連接座，連接座卡在鎖緊套管開口內部。

其中，所述鎖緊套管開口的直徑不小于所述電極插頭前端部的直徑，且所述鎖緊套管開口的直徑小于所述連接座的直徑。

其中，所述鎖緊套管另一端由鎖緊螺母鎖緊。

(三)有益效果

上述技術方案所提供的電極對接裝置，結構簡單、緊湊，易于安裝，接觸良好，達到彌補偏差過大、對接性差的問題；長期使用，也不會產生放電現象，壽命長，經濟可靠，可以滿足規模化生產需求。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例的電極對接裝置的結構示意圖。

其中，1：鎖緊螺母；2：預緊壓簧；3：鎖緊套管；4：電極插頭；5：插座。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例，對本實用新型的具體實施方式作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本實用新型，但不用來限制本實用新型的范圍。

圖1示出了本實用新型實施例的電極對接裝置的結構示意圖，其包括電極插頭4和插座5，電極插頭4和插座5之間的連接方式由傳統的插入式連接改為球面適配連接，相應地，需要將電極插頭4設置為球型插頭，即電極插頭4前端部為凸出的球形部，插座5與電極插頭4相接觸的端面設置為與球形部相適配的凹面，球形部與凹面的直接接觸即能實現電極插頭4與插座5的電連接，該連接方式不會在運動過程中造成球形部和凹面的變形、接觸不良以及放電現象。

為了提高電極插頭4與插座5的良性接觸，在電極插頭4后端部設置彈性支撐模塊，以將電極插頭4壓入插座5的凹面內。具體地，彈性支撐模塊包括：鎖緊套管3，其一端設置開口，內部設置預緊壓簧2，電極插頭4后端部設置連接座(圖中未標示)，連接座卡在鎖緊套管3開口內部，即由預緊壓簧2通過其預壓力壓緊電極插頭4的連接座，將電極插頭4壓緊在插座5的凹面內，使電極插頭4與插座5緊密良性接觸。

為了有效實現彈性支撐模塊對電極插頭4的彈性支承，優選將鎖緊套管3開口的直徑設置為不小于電極插頭4前端部的直徑，保證電極插頭4前端部自由通過鎖緊套管3開口，且將鎖緊套管3開口的直徑設置為小于連接座的直徑，保證連接座被卡在鎖緊套管3內部而不脫落。

本實施例中，與其開口端相對的鎖緊套管3的另一端密封，優選采用鎖緊螺母1將其密封，便于拆卸和更換預緊壓簧2。

由以上實施例可以看出，本實用新型實施例結構簡單、緊湊，易于安裝，接觸良好，達到彌補偏差過大、對接性差的問題；長期使用，也不會產生放電現象，壽命長，經濟可靠，可以滿足規模化生產需求。

以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型技術原理的前提下，還可以做出若干改進和替換，這些改進和替換也應視為本實用新型的保護范圍。