[實用新型]單晶爐的鉬棒

有效

• 申請號: 201120264856.1
• 申請日: 2011-07-25
• 公開（公告）號: CN202187079U
• 公開（公告）日: 2012-04-11
• 發明（設計）人: 林游輝
• 申請（專利權）人: 合肥景坤新能源有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B15/32
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 方琦

技術領域

????本實用新型涉及利用多晶提拉出單晶硅領域，具體屬于單晶爐的鉬棒。

背景技術

目前，直拉單晶爐是晶體生長設備中最重要的產品系列，用它來制作人工晶體，晶體生長速度最高，最容易實現人工控制，因此也獲得了最廣泛的應用。為了生長出大尺寸和高質量的單晶，人類幾乎用了一切先進的手段。在單晶爐上集成了材料、機械、電氣、計算機、磁多方面的高端知識和技術。硅單晶體作為一種半導體材料，一般用于制造集成電路和其他電子元件。大部分的半導體硅單晶體采用直拉法制造。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種單晶爐的鉬棒，采用卡扣式結構，安裝更加方便快捷，使用壽命延長，且生產成本降低。

本實用新型的技術方案如下：

單晶爐的鉬棒，包括有棒體，棒體的上端固定套裝于拉絲套內，所述棒體的上端側壁上開有弧形的鉤槽，拉絲套內設有橫穿過鉤槽的銷軸，拉絲套的上端連接有鋼絲，棒體的下端固定有籽晶。

????所述的棒體的下端設有凹槽，籽晶固定于凹槽內。

本實用新型的拉絲套與棒體之間采用卡扣式結構，安裝更加方便快捷，使用壽命延長，且生產成本降低。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

參見附圖，單晶爐的鉬棒，包括有棒體1，棒體1的上端固定套裝于拉絲套2內，棒體1的上端側壁上開有弧形的鉤槽3，拉絲套2內設有橫穿過鉤槽的銷軸4，拉絲套2的上端連接有鋼絲，棒體的下端固定有籽晶6，棒體的下端設有凹槽5，籽晶6固定于凹槽內。