[實用新型]一種太陽能硅片拋光器

有效

• 申請號: 201120261328.0
• 申請日: 2011-07-22
• 公開（公告）號: CN202185816U
• 公開（公告）日: 2012-04-11
• 發明（設計）人: 沈彪;李向清;胡德良
• 申請（專利權）人: 江陰市愛多光伏科技有限公司
• 主分類號: B24B29/00
• 分類號: B24B29/00;B24D13/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種太陽能硅片拋光裝置，更具體地說它是一種太陽能硅片專用拋光器，它可用于太陽能硅片的雙面拋光。

背景技術

現有的太陽能硅片拋光裝置包括上拋光盤1和下拋光盤2，上拋光盤上有流沙孔4，上拋光盤的下端面有拋光墊3，上拋光盤1通過上盤帶動軸6帶動旋轉，上拋光盤和1上盤帶動軸6之間通過定位塊5固定在一起，下拋光盤2的上端面有拋光墊3，下拋光盤2通過下盤帶動軸7帶動旋轉，下拋光盤2和下盤帶動軸7之間通過下拋光盤定位銷8固定在一起，有外齒圈帶動軸9位于下拋光盤內中間的通孔內，有內齒圈12圍繞在下拋光盤2外，內齒圈和12外齒圈11均通過帶動軸帶動。在內齒圈12和外齒圈11之間有游輪13，游輪13上有放置拋光太陽能硅片的孔位14(如圖1所示)，電動機通過變速箱提供四種不同的速度，通過各處自己的帶動軸傳遞，上拋光盤10為逆時針速度旋轉，下拋光盤2為順時針速度旋轉，內齒圈12和外齒圈11為不同的順時針速度，內齒圈12和外齒圈11帶動游輪13運動，游輪13則放置在需加工的拋光太陽能硅片上(如圖2所示)。這種結構的拋光裝置，其拋光盤為平面結構，導致拋光中拋光液流動性差，不均勻，拋光出的拋光太陽能硅片頻率散差大，次品和廢品較多。

實用新型內容

本實用新型的目的在于克服現有技術中存在的缺陷，提供一種拋光液流動性好的太陽能硅片專用拋光器。

為實現上述目的，本實用新型的技術方案是提供了一種太陽能硅片拋光器，其特征在于，所述拋光器包括上拋光盤和下拋光盤，在所述上拋光盤和下拋光盤上均固定有拋光墊，在所述拋光墊上設有網格狀V形溝槽。

作為優選的技術方案是，在所述拋光墊的背面通過背膠與上拋光盤或下拋光盤粘貼在一起。

進一步作為優選的技術方案是，所述拋光墊的厚度為0.6～0.8mm。

進一步作為優選的技術方案還有，所述拋光墊上網格狀V形溝槽的槽寬為1.0～1.5mm，槽深為0.5mm。

本實用新型的優點和有益效果在于：本實用新型通過在拋光墊上設有網格狀V形溝槽，解決拋光液流動差的問題，該裝置具有方法簡單，效果明顯，降低了生產成本，工作效率提高了50％。

下表為原有拋光盤(沒有溝槽)與本實用新型拋光盤(設有溝槽)加工后的太陽能硅片的效果比較表。

產品電阻分布Ω??近端寄生峰(dB)??沒有溝槽80-200??2-15

產品電阻分布Ω??近端寄生峰(dB)??設有溝槽40-80??＜1

通過上表可知：采用設有溝槽的拋光器，可大大提高了太陽能硅片的加工質量和技術水平。

附圖說明

圖1為現有太陽能硅片拋光裝置的結構示意圖；

圖2為游輪的布置結構示意圖；

圖3為本實用新型太陽能硅片專用拋光器的結構示意圖。