[實用新型]三氯氫硅合成中氯化氫的加料計量裝置

有效

• 申請號: 201120252610.2
• 申請日: 2011-07-18
• 公開（公告）號: CN202193623U
• 公開（公告）日: 2012-04-18
• 發明（設計）人: 吳連杰;徐德懿
• 申請（專利權）人: 四川瑞能硅材料有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214
• 代理人: 徐宏;吳彥峰

技術領域

本實用新型涉及一種三氯氫硅合成中氯化氫的加料計量裝置。

背景技術

多晶硅行業各企業的生產中，三氯氫硅合成的氯化氫流量計是金屬管浮子(轉子)流量計。

浮子流量計的流量檢測元件是由一根自下向上擴大的垂直錐形管和一個沿著錐管軸上下移動的浮子組所組成。被測流體從下向上經過錐管和浮子形成的環隙時，浮子上下端產生差壓形成浮子上升的力，當浮子所受上升力大于浸在流體中浮子重量時，浮子便上升，環隙面積隨之增大，環隙處流體流速立即下降，浮子上下端差壓降低，作用于浮子的上升力亦隨著減少，直到上升力等于浸在流體中浮子重量時，浮子便穩定在某一高度。浮子在錐管中高度和通過的流量有對應關系。

實際生產中，由于氯化氫合成尾氣中組成中含H₂、H₂O、HCl、碳粉及未知物，因此轉子流量計很容易被堵塞和卡死，使得氯化氫合成的運行周期非常短，有時甚至不到一個月，所以急需一種新的流量計量裝置。

實用新型內容

本實用新型的目的是針對上述情況，提供一種用于測定三氯氫硅合成的氯化氫流量、從而知道氯化氫加料量的氯化氫加料計量裝置。

本實用新型的目的通過下述技術方案來實現：

一種三氯氫硅合成中氯化氫的加料計量裝置，包括被測管路，在被測管路上水平安裝有孔板流量計。

作為優選方式，所述孔板流量計上有法蘭，所述法蘭焊接在被測管路上，所述孔板流量計的孔板中心線與所述被測管路的管路中心線重合。

本實用新型的有益效果：本實用新型方便測定三氯氫硅合成的氯化氫流量，從而易于掌握氯化氫的加料量，使得三氯氫硅合成系統可以維持穩定生產，從而促進了整個多晶硅的生產，本實用新型安裝方便，流量計運行時間長，維修方便。

附圖說明

圖1是本實用新型的示意圖。

其中，1為氯化氫進口，2為氯化氫出口，3為孔板流量計，4為被測管路。

具體實施方式

下面結合具體實施例和附圖對本實用新型作進一步的說明。

如圖1所示，一種三氯氫硅合成中氯化氫的加料計量裝置，包括被測管路4，在被測管路上水平安裝有孔板流量計3。所述孔板流量計上有法蘭，所述法蘭焊接在被測管路上，所述孔板流量計的孔板中心線與所述被測管路的管路中心線重合，氯化氫從氯化氫進口1進入，從氯化氫出口2輸出。

孔板流量計是將標準孔板與多參數差壓變送器（或差壓變送器、溫度變送器及壓力變送器）配套組成的高量程比差壓流量裝置，可測量氣體、蒸汽、液體的流量。?

以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。