[實(shí)用新型]一種用作電容耦合等離子體處理室的部件的限定環(huán)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120221716.6
• 申請(qǐng)日: 2011-06-27
• 公開（公告）號(hào): CN202285227U
• 公開（公告）日: 2012-06-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邁克爾·C·凱洛格;阿列克謝·馬拉什塔內(nèi)夫;拉金德?tīng)枴さ隙髟?/a>
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 朗姆研究公司
• 主分類號(hào): H01J37/32
• 分類號(hào): H01J37/32;H01J37/16
• 代理公司: 上海勝康律師事務(wù)所 31263
• 代理人: 李獻(xiàn)忠

1.一種用作電容耦合等離子體處理室的部件的限定環(huán)，其中所述限定環(huán)的內(nèi)表面提供有延伸的等離子體限定區(qū)，所述限定區(qū)包繞位于上部電極和支撐下部電極之間的間隙，在所述室中進(jìn)行等離子體處理的過(guò)程中，半導(dǎo)體襯底被支撐于所述下部電極上，所述限定環(huán)包括：

環(huán)形上部壁，其水平延伸并且包含位于其內(nèi)端的適于支承所述等離子體室的所述上部電極的外邊緣的環(huán)形凸緣；

側(cè)壁，其從上部壁的外端豎直向下延伸；和

環(huán)形下部壁，其從所述側(cè)壁的下端向內(nèi)水平延伸，所述下部壁包括沿圓周間隔開的徑向延伸的槽，所述槽中的每一條有至少1.0英寸的長(zhǎng)度，和0.05至0.2英寸的一致的寬度，所述槽均勻間隔，徑向位置偏差不超過(guò)2°。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的限定環(huán)，其中所述側(cè)壁除了有一組布置成5排水平的直徑約為0.030英寸的均勻隔開的通孔外，不含其它開口。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的限定環(huán)，其中所述下部壁有約14.880英寸的內(nèi)徑和約0.25英寸的厚度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的限定環(huán)，其中所述上部壁有約16.792英寸的內(nèi)徑和約0.31英寸的厚度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的限定環(huán)，其中所述側(cè)壁有約20.500英寸的外徑，約20.000英寸的內(nèi)徑，和約0.25英寸的厚度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的限定環(huán)，其中所述上部壁的下部水平表面與所述下部壁的上部水平表面的空間間隔約0.850英寸。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的限定環(huán)，其中所述槽中的每一條有約1.892英寸的長(zhǎng)度和約0.08英寸的寬度，所述槽的端部是圓形的且所述槽中的每一條偏離其緊鄰的槽1.25°，并且所述槽中的每一條相對(duì)于所述限定環(huán)的中心軸從約7.97英寸處徑向延伸至約9.862英寸處。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的限定環(huán)，其中所述下部壁包含在其內(nèi)周緣向下延伸的環(huán)形凸起，所述環(huán)形凸起有約0.365英寸的寬度，并且向所述下部壁的下表面以下延伸約0.2英寸。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的限定環(huán)，其中，所述環(huán)形凸緣由所述上部壁的上部?jī)?nèi)端的環(huán)形凹槽形成，所述環(huán)形凹槽由水平表面和豎直表面形成，其中，所述水平表面從所述上部壁的內(nèi)周緣延伸約0.1245英寸，所述豎直表面從所述上部壁的上表面延伸約0.165英寸。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的限定環(huán)，還包括所述上部壁的上表面上的8個(gè)7/16-28螺紋孔，其中所述螺紋孔的中心位于離所述限定環(huán)的中心軸約9.315英寸處且所述螺紋孔的中心彼此偏離45°；并且所述螺紋孔中的每一個(gè)有約0.2英寸的深度。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的限定環(huán)，還包括第一、第二和第三對(duì)準(zhǔn)銷孔，其中：

所述對(duì)準(zhǔn)銷孔是無(wú)螺紋的；

所述對(duì)準(zhǔn)銷孔中的每一個(gè)有約0.116英寸的直徑和約0.2英寸的深度；

所述對(duì)準(zhǔn)銷孔的中心位于離所述限定環(huán)的中心軸約9.5英寸處；

所述第三對(duì)準(zhǔn)銷孔逆時(shí)針?lè)较蚱x所述螺紋孔中的一個(gè)約34.5°；

所述第二對(duì)準(zhǔn)銷孔逆時(shí)針?lè)较蚱x所述第三對(duì)準(zhǔn)銷孔約115°；

所述第一對(duì)準(zhǔn)銷孔逆時(shí)針?lè)较蚱x所述第二對(duì)準(zhǔn)銷孔約125°。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的限定環(huán)，其中所述限定環(huán)是單個(gè)整塊的部件或者包括兩個(gè)或兩個(gè)以上沿著水平表面或者豎直表面機(jī)械地附著或者聯(lián)接的部分。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的限定環(huán)，其中所述限定環(huán)由導(dǎo)電材料制成。

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的限定環(huán)，其中所述限定環(huán)由鋁制成。