[實用新型]石墨舟自動裝卸片設(shè)備上料用片盒架有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201120201344.0 | 申請日: | 2011-06-15 |
| 公開(公告)號: | CN202131368U | 公開(公告)日: | 2012-02-01 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 王慧勇;魏唯;呂文利;劉紅江 | 申請(專利權(quán))人: | 湖南紅太陽光電科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/44 | 分類號: | C23C16/44;H01L31/18 |
| 代理公司: | 長沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 43113 | 代理人: | 馬強 |
| 地址: | 410111 湖南省*** | 國省代碼: | 湖南;43 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 石墨 自動 裝卸 設(shè)備 上料用片盒架 | ||
1.一種石墨舟自動裝卸片設(shè)備上料用片盒架,包括互相平行的上底板(3)和下底板(1),并在上底板(3)與下底板(1)之間設(shè)有至少兩根垂直于上底板(3)的支撐桿(4),其特征是,所述支撐桿(4)之間設(shè)有至少一個支撐片盒(9)的托板(2),所述托板(2)平行于上底板(3),且托板(2)上設(shè)有固定片盒(9)的卡位槽(7);所述上底板(3)和下底板(1)分別設(shè)有固定片盒架的定位孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述石墨舟自動裝卸片設(shè)備上料用片盒架,其特征是,上底板(3)與下底板(1)之間設(shè)有可提放片盒架的拉桿(5)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述石墨舟自動裝卸片設(shè)備上料用片盒架,其特征是,所述卡位槽(7)為兩側(cè)設(shè)有凹槽的“H”形,且卡位槽(7)上的凹槽與片盒(9)的上端面或下端面的凸起相配合。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述石墨舟自動裝卸片設(shè)備上料用片盒架,其特征是,所述上底板(3)的定位孔(6)的圓心為上底板(3)的中心。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述石墨舟自動裝卸片設(shè)備上料用片盒架,其特征是,所述下底板(1)的定位孔(8)的圓心為下底板(1)的中心。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆,例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
- 傳感設(shè)備、檢索設(shè)備和中繼設(shè)備
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