[實用新型]一種真空對盒設(shè)備和真空對盒系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201120184511.5
• 申請日: 2011-06-02
• 公開（公告）號: CN202057930U
• 公開（公告）日: 2011-11-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李韡;張明亮;馬博;何偉
• 申請（專利權(quán)）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G02F1/1333
• 分類號: G02F1/1333;B25J19/00
• 代理公司: 北京同達信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種真空對盒設(shè)備，包括上機臺、下機臺和控制器，其特征在于，還包括：

壓力傳感器，與所述上機臺或下機臺固定連接，用于檢測真空對盒設(shè)備上機臺與基板之間的壓力，并傳送壓力信息給所述控制器。

2.如權(quán)利要求1所述的真空對盒設(shè)備，其特征在于，所述壓力傳感器通過連接線連接所述控制器。

3.如權(quán)利要求2所述的真空對盒設(shè)備，其特征在于，所述控制器接收所述壓力傳感器發(fā)送的壓力信息，并在確定所述壓力信息大于或等于預(yù)設(shè)的壓力上限值時，向所述上機臺發(fā)送停止下降的指示信息。

4.如權(quán)利要求1、2或3所述的真空對盒設(shè)備，其特征在于，所述壓力傳感器為一個或多個。

5.如權(quán)利要求4所述的真空對盒設(shè)備，其特征在于，所述壓力傳感器設(shè)置在所述真空對盒設(shè)備的下機臺，且所述壓力傳感器為多個時，所述壓力傳感器與進入所述真空對盒設(shè)備的機械手的手指數(shù)目上相同，且位置上一一對應(yīng)。

6.一種真空對盒系統(tǒng)，包括真空對盒設(shè)備和進入所述真空對盒設(shè)備的機械手，其特征在于，所述機械手上設(shè)有壓力傳感器，用于檢測真空對盒設(shè)備上機臺與基板之間的壓力，并傳送壓力信息給所述真空對盒設(shè)備的控制器。

7.如權(quán)利要求6所述的真空對盒系統(tǒng)，其特征在于，所述機械手上設(shè)有的壓力傳感器通過連接線連接所述真空對盒設(shè)備的控制器。

8.如權(quán)利要求7所述的真空對盒系統(tǒng)，其特征在于，所述控制器接收所述壓力傳感器發(fā)送的壓力信息，并在確定所述壓力信息大于或等于預(yù)設(shè)的壓力上限值時，向所述真空對盒設(shè)備中的上機臺發(fā)送停止下降的指示信息。

9.如權(quán)利要求6、7或8所述的真空對盒系統(tǒng)，其特征在于，所述機械手上設(shè)有的壓力傳感器為一個或多個。

10.如權(quán)利要求6所述的真空對盒系統(tǒng)，其特征在于，所述機械手每個手指上均設(shè)有一個壓力傳感器。