[實用新型]光掩模沖洗的裝卡裝置

無效

• 申請號: 201120173281.2
• 申請日: 2011-05-26
• 公開（公告）號: CN202087567U
• 公開（公告）日: 2011-12-28
• 發明（設計）人: 吉保國
• 申請（專利權）人: 常州瑞擇微電子科技有限公司
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00;G03F1/00
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 賈海芬

1.一種光掩模沖洗的裝卡裝置，其特征在于：包括設有孔口的工作臺(1)以及安裝在工作臺(1)上的開合驅動機構和自動翻轉機構，

所述的開合驅動機構包括沿工作臺(1)對角設置的兩導軌座(5)、分別安裝在兩導軌座(5)上的驅動組件和同步組件，所述的驅動組件包括氣缸(10)、直線導軌(11)以及過渡滑塊(6)和托板(8)，氣缸(10)和直線導軌(11)安裝在導軌座(5)上，過渡滑塊(6)與氣缸(10)的移動件連接，托板(8)安裝在直線導軌(11)的滑塊上，且托板(8)通過壓緊彈簧(22)和測力傳感器(21)分別與過渡滑塊(6)相接；所述的同步組件包括安裝在工作臺(1)上的六個以上導步齒輪(9)和至少一個張緊輪(3)及同步帶(2)，沿兩導軌座(5)周邊設置的同步帶(2)與各導步齒輪(9)嚙合，張緊輪(3)設置在同步帶(2)的一側，且托板(8)與同步帶(2)固定連接；

所述的翻轉機構包括主動翻轉組件和從動翻轉組件，主動翻轉組件包括與托板(8)連接的主動支承座(12)、擺動氣缸(13)、主動卡爪座(14)和具有卡口(15-1)的主動卡爪(15)，主動支承座(12)安裝在其中一個托板(8)上，擺動氣缸(13)安裝在主動支承座(12)上，主動卡爪座(14)通過主動軸套(24)安裝在主動支承座(12)上并與擺動氣缸(13)的轉子連接，主動卡爪(15)可拆安裝在主動卡爪座(14)的另一端；所述的從動翻轉組件包括被動支承座(19)、被動卡爪座(18)以及具有卡口(17-1)的被動卡爪(17)，被動支承座(19)安裝在另一個托板(8)上，被動卡爪座(18)通過被動軸套(25)安裝在被動支承座(19)上，被動卡爪(17)可拆安裝在被動卡爪座(18)上，主動卡爪(15)的中心線與被動卡爪(17)中心線重合，主動支承座(12)或/和擺動氣缸(13)上安裝有檢測擺動角度的角度傳感器(26)，或主動支承座(12)或/和擺動氣缸(13)上安裝有檢測擺動角度的接近開關，被動支承座(19)或/和被動卡爪座(18)上安裝有檢測水平位置的位置檢測開關(27)。

2.根據權利要求1所述的光掩模沖洗的裝卡裝置，其特征在于：所述的托板(8)通過緊固件與直線導軌(11)的滑塊連接，且托板(8)位于氣缸(10)移動件一側設有槽口，過渡滑塊(6)設置在托板(8)的槽口內，至少一個壓緊彈簧(22)設置在托板(8)的槽口一側的彈簧孔內并頂在過渡滑塊(6)的一端，測力傳感器(21)安裝在托板(8)的槽口另一側的安裝孔內并與過渡滑塊(6)的另一端相接。

3.根據權利要求1所述的光掩模沖洗的裝卡裝置，其特征在于：所述的主動卡爪座(14)包括主動轉盤(14-1)、平面軸承(14-2)以及軸向開口的主動漲套(14-3)和外套(14-4)，安裝在擺動氣缸(13)轉子上的接盤(23)與主動轉盤(14-1)連接，平面軸承(14-2)安裝在主動轉盤(14-1)的軸承座內并頂在主動軸套(24)端面，主動卡爪(15)內端的凸軸通過主動漲套(14-3)與主動轉盤(14-1)連接，且外套(14-4)套裝在主動卡爪(15)上。

4.根據權利要求3所述的光掩模沖洗的裝卡裝置，其特征在于：所述的主動軸套(24)為T形軸套，主動軸套(24)安裝在主動支承座(12)的臺階形孔內并通過緊固?件固定，主動轉盤(14-1)或主動軸套(24)上設有油槽。

5.根據權利要求3所述的光掩模沖洗的裝卡裝置，其特征在于：所述的主動轉盤(14-1)上至少設有兩個定位孔，主動軸套(24)上設有滾珠孔(14-6)，安裝在主動支承座(12)上的緊釘螺釘通過彈簧(14-5)將設置在主動軸套(24)上的滾珠(14-6)頂在主動轉盤(14-1)的定位槽內。

6.根據權利要求1所述的光掩模沖洗的裝卡裝置，其特征在于：所述的被動卡爪座(18)包括被動轉軸(18-1)、平面軸承(18-2)、以及軸向開口的被動漲套(18-3)和外套(18-4)，平面軸承(18-2)設置在被動轉軸(18-1)的軸承座內并頂在被動軸套(25)端面，被動卡爪(17)內端上的凸軸通過被動漲套(18-3)與被動轉軸(18-1)連接，外套(18-4)套裝在被動卡爪(17)上。