[實(shí)用新型]頂部開視鏡孔的多晶硅還原爐無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201120096887.0 | 申請(qǐng)日： | 2011-04-02 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN201952239U | 公開（公告）日： | 2011-08-31 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉春江;黃哲慶;胡雪沁;袁希鋼 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 天津大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | C01B33/035 | 分類號(hào)： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限責(zé)任專利代理事務(wù)所 12201 | 代理人： | 王麗 |
| 地址： | 300072 天*** | 國省代碼： | 天津;12 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 頂部 開視鏡孔 多晶 還原 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種頂部開視孔鏡的多晶硅還原爐，其特征是在還原爐爐體夾套的封頭上設(shè)置有視鏡孔。
2.如權(quán)利要求1所述的還原爐，其特征是所述的視孔鏡是由為螺栓、法蘭和熱反射玻璃組成，兩層熱反射玻璃嵌在三個(gè)法蘭之間，通過螺栓固定在封頭上。
3.如權(quán)利要求1所述的還原爐，其特征是視鏡孔為1～8個(gè)，均勻分布在封頭上。
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