[實(shí)用新型]一種用于硒化或硫化處理的可控硒蒸汽或硫蒸汽的產(chǎn)生裝置無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201120093911.5 | 申請(qǐng)日： | 2011-04-01 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN202092090U | 公開(kāi)（公告）日： | 2011-12-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 潘勇;范清喜;周杰;陳浩;李凱;周兆峰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 湘潭大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | F22B33/00 | 分類號(hào)： | F22B33/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 長(zhǎng)沙市融智專利事務(wù)所 43114 | 代理人： | 顏勇 |
| 地址： | 411105*** | 國(guó)省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 硫化 處理 可控 蒸汽 產(chǎn)生 裝置 | ||
1.一種用于硒化或硫化處理的可控硒蒸汽或硫蒸汽的產(chǎn)生裝置，其特征在于，包括設(shè)有儲(chǔ)料室進(jìn)料口和儲(chǔ)料室出料口的儲(chǔ)料室、設(shè)有送料裝置進(jìn)料口和送料裝置出料口的連續(xù)送料裝置、設(shè)有氣化室進(jìn)料口和氣體出口的高溫氣化室，所述儲(chǔ)料室出料口與送料裝置進(jìn)料口相連，送料裝置出料口與氣化室進(jìn)料口相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硒化或硫化處理的可控硒蒸汽或硫蒸汽的產(chǎn)生裝置，其特征在于，所述的儲(chǔ)料室進(jìn)料口可開(kāi)啟和密閉。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硒化或硫化處理的可控硒蒸汽或硫蒸汽的產(chǎn)生裝置，其特征在于，在儲(chǔ)料室的上部設(shè)有儲(chǔ)料室惰性氣體進(jìn)氣口。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硒化或硫化處理的可控硒蒸汽或硫蒸汽的產(chǎn)生裝置，其特征在于，所述的連續(xù)送料裝置的送料方式為推桿送料或螺桿送料，送料桿與一用于驅(qū)動(dòng)送料桿的電動(dòng)傳動(dòng)裝置連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硒化或硫化處理的可控硒蒸汽或硫蒸汽的產(chǎn)生裝置，其特征在于，送料裝置與高溫氣化室的連接處設(shè)有水冷裝置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硒化或硫化處理的可控硒蒸汽或硫蒸汽的產(chǎn)生裝置，其特征在于，所述的高溫氣化室外側(cè)包覆有加熱控溫裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硒化或硫化處理的可控硒蒸汽或硫蒸汽的產(chǎn)生裝置，其特征在于，所述的高溫氣化室上部設(shè)有氣化室惰性氣體進(jìn)氣口。
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