[實用新型]管路漏液偵測裝置

有效

• 申請號: 201120052722.3
• 申請日: 2011-03-02
• 公開（公告）號: CN202074239U
• 公開（公告）日: 2011-12-14
• 發明（設計）人: 謝壽鏞;張盛淇
• 申請（專利權）人: 力晶科技股份有限公司
• 主分類號: F17D5/02
• 分類號: F17D5/02
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 陳小雯

技術領域

本實用新型涉及一種偵測系統，且特別是涉及一種管路漏液偵測裝置。

背景技術

目前半導體廠為了產量效能的提升，其設備安置的設計多采高密度的安排。因此，輸送各式各樣化學液體的管路及各種設備交錯設置，若輸送液體的管路不慎泄漏液體至半導體機臺中，對半導體的生產會造成相當嚴重的影響。

舉例來說，光阻(光致抗蝕劑)涂布機的光阻輸送管需包覆用以控溫的循環水管，當管路老化耗損后發生破裂、滲漏，常造成芯片缺陷及良率損失。然而，由于光阻涂布機的內部環境必須避免電氣接觸易燃液體(如光阻)，故對管路漏液的偵測形成限制。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種管路漏液偵測裝置，其可即時進行管路的漏液偵測及監控。

本實用新型的目的在于提供另一種管路漏液偵測裝置，其可有效地防止工安問題的產生。

為達上述目的，本實用新型提出一種管路漏液偵測裝置，其用以偵測管路的漏液，且包括套管、反射鏡、感濕薄膜、光源及光偵測器。套管環繞管路，套管的下部與管路密合，且位于下部上方的套管與管路之間形成盛液空間。反射鏡設置于套管的外壁上。感濕薄膜覆蓋反射鏡，其中感濕薄膜在干燥時具有第一光穿透率，且與漏液接觸后具有第二光穿透率，且第二光穿透率大于第一光穿透率。光源用以照射感濕薄膜。光偵測器用以接收來自反射鏡的反射光。

依照本實用新型的一實施例所述，在上述的管路漏液偵測裝置中，套管上例如是具有缺口，且缺口位于感濕薄膜上方。

依照本實用新型的一實施例所述，在上述的管路漏液偵測裝置中，套管例如是一體成型或由多個部件組成。

依照本實用新型的一實施例所述，在上述的管路漏液偵測裝置中，當套管由多個部件組成時，套管還包括結合裝置，用以組合部件。

依照本實用新型的一實施例所述，在上述的管路漏液偵測裝置中，套管例如是設置于管路的末端，此末端位于該管路的低位處。

依照本實用新型的一實施例所述，在上述的管路漏液偵測裝置中，光源與光偵測器例如是一體成型或為互相分離的裝置。

依照本實用新型的一實施例所述，在上述的管路漏液偵測裝置中，還包括警報器，耦接于光偵測器，用于反射光的強度增加時警報器發出警報信號。

依照本實用新型的一實施例所述，在上述的管路漏液偵測裝置中，警報器例如是光警報器、聲音警報器或上述警報器的組合。

依照本實用新型的一實施例所述，在上述的管路漏液偵測裝置中，管路例如是用以包覆光阻輸送管的控溫管。

本實用新型提出另一種管路漏液偵測裝置，其用以偵測管路的漏液，且包括套管、感濕薄膜、光源及光偵測器。套管環繞管路，套管的下部與管路密合，且位于下部上方的套管與管路之間形成盛液空間。感濕薄膜設置于套管的外壁上，其中感濕薄膜在干燥時具有第一光穿透率，且與漏液接觸后具有第二光穿透率，且第二光穿透率大于第一光穿透率。光源用以照射感濕薄膜。光偵測器用以接收穿透感濕薄膜的穿透光。

依照本實用新型的另一實施例所述，在上述的管路漏液偵測裝置中，套管上例如是具有缺口，且缺口位于感濕薄膜上方。

依照本實用新型的另一實施例所述，在上述的管路漏液偵測裝置中，還包括警報器，耦接于光偵測器，用于穿透光的強度增加時警報器發出警報信號。

本實用新型的優點在于，基于上述，在使用本實用新型所提出的管路漏液偵測裝置時，當管路產生漏液時，漏液會流入由盛液空間中。由盛液空間中流出的漏液會潤濕感濕薄膜，而使感濕薄膜的光穿透率增加，所以由光偵測器所偵測到的反射光或穿透光的強度增加。通過光偵測器偵測到反射光或穿透光的強度增加，可得知管路發生漏液的情況，因此可即時進行管路的漏液偵測及監控。

為讓本實用新型的上述和其他目的、特征和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，并配合所附附圖，作詳細說明如下。

附圖說明

圖1為本實用新型的一實施例的管路漏液偵測裝置在未產生漏液時的示意圖；

圖2為本實用新型的一實施例的管路漏液偵測裝置在產生漏液時的示意圖；

圖3為本實用新型的另一實施例的套管的示意圖；

圖4為本實用新型的一實施例的管路漏液偵測裝置應用于光阻涂布機的示意圖；

圖5為本實用新型的第二實施例的管路漏液偵測裝置在未產生漏液時的示意圖；

圖6為圖5中的感濕薄膜與光偵測器的放大示意圖；

圖7為本實用新型的第二實施例的管路漏液偵測裝置在產生漏液時的示意圖；

圖8為圖7中的感濕薄膜與光偵測器的放大示意圖。