[實用新型]一種降低氯化氫吸收塔頂部回收氫中氯硅烷含量的裝置

有效

• 申請號: 201120051452.4
• 申請日: 2011-03-01
• 公開（公告）號: CN201889148U
• 公開（公告）日: 2011-07-06
• 發明（設計）人: 銀波;郭增昌;楊連勇;李向丹;侯雨
• 申請（專利權）人: 特變電工新疆硅業有限公司
• 主分類號: B01D53/18
• 分類號: B01D53/18;B01D53/02;C01B3/56
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 羅建民;鄧伯英

技術領域

本實用新型屬于多晶硅尾氣回收技術領域，具體涉及一種降低氯化氫吸收塔頂部回收氫中氯硅烷含量的裝置，是一種提高回收氫的品質的改進裝置。

背景技術

目前，多晶硅生產技術仍以改良西門子法為主，改良西門子法與西門子法的區別在于利用干法回收工藝(即通常所說的CDI)來回收多晶硅生產中產生的尾氣，包括氯化氫、氯硅烷、氫氣等，真正實現了閉路循環。

眾所周知，多晶硅產品的純度絕大部分依賴于原料即三氯氫硅和氫氣的純度，三氯氫硅的純度由精餾提純來保證，氫氣中回收氫的純度由CDI系統來保證。

傳統的CDI是由尾氣，包括氯化氫、氯硅烷、氫氣，通過氯化氫吸收塔，用降溫加壓的方法使絕大部分氯化氫被氯硅烷混合液吸收，氯化氫吸收塔頂部自帶絲網除沫器，使回收氫中夾帶的氯硅烷混合液與之分離開來。但由于氯化氫吸收塔中的壓力很高，達1.29MPa，這么大的壓力使得絲網除沫器并不能完全濾除回收氫中的氯硅烷液體。這對于后續的吸附柱來說，由于氯硅烷液體的附著，使得吸附柱活性炭的接觸面積減少，吸附回收氫中的氯化氫的能力也就跟著降低，從而降低了回收氫的品質，最終影響多晶硅產品的品質。

為此，仍然需要對多晶硅生產工藝中的CDI系統進行改進，使其回收氫的品質進一步提高，以達到多晶硅生產的需要。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是針對現有技術中存在的上述不足，提供一種降低氯化氫吸收塔頂部回收氫中氯硅烷含量的裝置，以實現提高回收氫的品質，同時提高多晶硅產品的品質。

解決本實用新型技術問題所采用的技術方案是該降低氯化氫吸收塔頂部回收氫中氯硅烷含量的裝置，包括氯化氫吸收塔、氣/氣換熱器、吸附柱及連接管道，其特征在于還包括除霧器，在氯化氫吸收塔與氣/氣換熱器之間通過管道連接除霧器，使生產中產生的氣體依次經過氯化氫吸收塔、除霧器、氣/氣換熱器和吸附柱后被回收。

優選的是，位于氯化氫吸收塔與氣/氣換熱器之間的除霧器濾除氯化氫回收塔頂部回收氫中夾帶的氯硅烷。

優選的是，所述氯化氫吸收塔用氯硅烷噴淋的方法把氫氣中的氯化氫氣體吸收。

優選的是，回收氫經過氣/氣換熱器后進入吸附柱，所述吸附柱用于吸附回收氫中殘留的氯化氫，使回收氫品質達到多晶硅生產的需要。

在實用新型在氯化氫吸收塔與氣/氣換熱器之間，新增一個除霧器，即在氯化氫吸收塔與氣/氣換熱器之間通過管道連接除霧器，這樣，從氯化氫吸收塔頂部出來的回收氫中夾帶的少量的氯硅烷液體再經過除霧器，將幾乎徹底濾除回收氫中夾帶的氯硅烷液體，大大提高了回收氫的品質，有利提高多晶硅產品的品質。

附圖說明

圖1為本實用新型一個實施例中氣體回收裝置的連接示意圖；

圖中：1-生產尾氣；2-氯化氫吸收塔；3-管道；4-除霧器；5-管道；6-氣/氣換熱器；7-管道；8-吸附柱；9-回收氫。

具體實施方式

為使本領域技術人員更好地理解本實用新型的技術方案，下面結合附圖對本實用新型作進一步詳細描述。

如圖1所示，本實施例中，該用于降低氯化氫吸收塔頂部回收氫中氯硅烷含量的裝置包括氯化氫吸收塔2、除霧器4、氣/氣換熱器6和吸附柱8，在氯化氫吸收塔2與氣/氣換熱器6之間通過管道3、5連接除霧器4。如圖1所示，生產尾氣通過管道依次流經氯化氫吸收塔2、除霧器4、氣/氣換熱器6和吸附柱8，各部件之間用管道連接。

所述氯化氫吸收塔2用氯硅烷噴淋的方法把氫氣中的氯化氫氣體吸收。

其特征在于位于氯化氫吸收塔2與氣/氣換熱器6之間的除霧器4，濾除夾帶的氯硅烷。

本實用新型在工作時，氯化氫吸收塔2用氯硅烷噴淋的方法把氫氣中的氯化氫氣體吸收，由于所述在氯化氫吸收塔2和氣/氣換熱器6之間設有除霧器4，從氯化氫吸收塔3頂部出來的回收氫通過管道3進入除霧器4，氯化氫回收塔2頂部回收氫中夾帶的氯硅烷在除霧器4中進一步被濾除，大大降低了回收氫中氯硅烷的含量，提高了回收氫的品質，至此，回收氫再通過后續的氣/氣換熱器6、管道7，到達吸附柱8，利用吸附柱8把回收氫中未被氯硅烷液體完全溶解的殘留的氯化氫氣體吸附，使回收氫的品質達到多晶硅生產的需要。

由以上對本實用新型實施例的詳細描述，可以了解本實用新型極大地提高了回收氫的純度，使多晶硅生產中產生的尾氣經過本實用新型裝置后可直接回收利用，真正實現了閉路循環。

可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本實用新型的原理而采用的示例性實施方式，然而本實用新型并不局限于此。對于本領域內的普通技術人員而言，在不脫離本實用新型的精神和實質的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本實用新型的保護范圍。